(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210587525.4 (22)申请日 2022.05.27 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5层5 03-1室 (72)发明人 刘万奎　胡文韬　于浩杰　马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/13(2017.01) G06T 7/60(2017.01) G06T 7/73(2017.01) (54)发明名称 晶圆寻边方法、 系统、 计算机及可读存储介 质 (57)摘要 本发明提供了一种晶圆寻边方法、 系统、 计 算机及可读存储介质， 该方法包括通过激光位移 传感器采集晶圆在旋转过程中产生的边缘位置 数据； 对若干实际采样点进行一次拟合运算， 以 获取到与晶圆对应的拟合圆数据， 并计算出拟合 圆数据中的若干标准采样点与若干实际采样点 之间的差值； 将差值的最大处设定为初始平边位 置， 并采集初始平边位置处的采样数据； 对局部 采样点进行二次拟合运算， 并识别出目标平边位 置的寻边角度以及寻边长度； 判断寻边角度以及 寻边长度是否小于预设精度值； 若是， 则判定目 标平边位置为晶圆的平边位置。 通过上述方式能 够规避现场环境光 以及晶圆反射率不同所带来 的成像稳定性问题， 同时可以有效降低算法的复 杂度。 权利要求书2页 说明书11页 附图3页 CN 114972259 A 2022.08.30 CN 114972259 A 1.一种晶圆寻 边方法， 用于检测晶圆的平边 位置， 其特 征在于， 所述方法包括： 当激光位移传感器识别到所述晶圆时， 通过所述激光位移传感器采集所述晶圆在旋转 过程中产生的边缘位置数据， 并对所述边缘位置数据进行预处理， 所述边缘位置数据包括 若干实际采样点； 对预处理过后的所述边缘位置数据中的若干所述实际采样点进行一 次拟合运算， 以获 取到与所述晶圆对应的拟合圆数据， 并计算出所述拟合圆数据中的若干标准采样点与若干 所述实际采样点之间的差值； 将所述差值的最大处设定为所述晶圆的初始平边位置， 并将所述激光位移传感器对准 所述初始平边位置， 以采集所述初始平边位置处的采样数据， 所述采样数据包括与所述初 始平边位置对应的局部采样点； 对所述局部采样点进行二次拟合运算， 以获取到目标平边位置， 并识别出所述目标平 边位置的寻 边角度以及寻 边长度； 分别判断所述 寻边角度以及所述 寻边长度是否小于预设精度值； 若判断到所述寻边角度和所述寻边长度均小于所述预设精度值， 则判定所述目标平边 位置为所述晶圆的平边 位置。 2.根据权利要求1所述的晶圆寻边方法， 其特征在于： 所述对所述边缘位置数据进行预 处理的步骤 包括： 基于一维高斯滤波函数对所述边缘位置数据中的若干所述实际采样点进行数据平滑 处理， 以消除若干所述实际采样点中的干扰采样点； 根据预设算法提取出数据平滑 处理过后的若干实际采样点中的有 效采样点， 以过滤出 无效采样点， 并基于所述有效采样点构建出对应的有效采样数据集。 3.根据权利要求1所述的晶圆寻边方法， 其特征在于： 所述将所述差值的最大处设定为 所述晶圆的初始 平边位置的步骤之后， 所述方法还 包括： 当确定出所述晶圆的初始平边位置后， 基于所述拟合圆数据计算出所述晶圆在旋转平 面上相对于 旋转中心的偏移量， 所述偏移量包括x轴偏移量以及y轴偏移量； 根据所述x轴偏移量以及y轴偏移量将所述晶圆移动至所述旋转平面的旋转中心上。 4.根据权利要求1所述的晶圆寻边方法， 其特征在于： 所述将所述激光位移传感器对准 所述初始 平边位置， 以采集所述初始 平边位置处的采样数据的步骤 包括： 当确定出所述晶圆的初始平边位置时， 基于所述初始平边位置构建出对应的平边采集 角度， 所述平边采集角度大于所述初始 平边位置的角度； 根据所述平边采集角度将所述晶圆的初始平边位置低速旋转通过所述激光位移传感 器， 以使所述激光 位移传感器采集所述初始 平边位置处的采样数据。 5.根据权利要求 4所述的晶圆寻边方法， 其特 征在于： 所述方法还 包括： 若判断到所述寻边角度和所述寻边长度均 大于所述预设精度值， 则减小所述平边采集 角度， 并再次根据减小过后的平边采集角度将所述晶圆的初始平边位置低速旋转通过所述 激光位移传感器， 以使所述激光 位移传感器采集所述初始 平边位置处的采样数据。 6.一种晶圆寻 边系统， 用于检测晶圆的平边 位置， 其特 征在于， 所述系统包括： 采集模块， 用于当激光位移传感器识别到所述晶圆时， 通过所述激光位移传感器采集 所述晶圆在旋转过程中产生的边缘位置数据， 并对所述边缘位置数据进行预处理， 所述边权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114972259 A 2缘位置数据包括若干实际采样点； 第一拟合模块， 用于对预处理过后的所述边缘位置数据中的若干所述实际采样点进行 一次拟合运算， 以获取到与所述晶圆对应的拟合圆数据， 并计算出所述拟合圆数据中的若 干标准采样点与若干所述实际采样点之间的差值； 处理模块， 用于将所述差值的最大处设定为所述晶圆的初始平边位置， 并将所述激光 位移传感器对准所述初始平边位置， 以采集所述初始平边位置处的采样数据， 所述采样数 据包括与所述初始 平边位置对应的局部采样点； 第二拟合模块， 用于对所述局部采样点进行二 次拟合运算， 以获取到目标平边位置， 并 识别出所述目标平边 位置的寻 边角度以及寻 边长度； 第一判断模块， 用于分别判断所述 寻边角度以及所述 寻边长度是否小于预设精度值； 执行模块， 用于若判断到所述寻边角度和所述寻边长度均小于所述预设精度值， 则判 定所述目标平边 位置为所述晶圆的平边 位置。 7.根据权利要求6所述的 晶圆寻边系统， 其特 征在于： 所述采集模块具体用于： 基于一维高斯滤波函数对所述边缘位置数据中的若干所述实际采样点进行数据平滑 处理， 以消除若干所述实际采样点中的干扰采样点； 根据预设算法提取出数据平滑 处理过后的若干实际采样点中的有 效采样点， 以过滤出 无效采样点， 并基于所述有效采样点构建出对应的有效采样数据集。 8.根据权利要求6所述的晶圆寻边系统， 其特征在于： 所述晶圆寻边系统还包括调 整模 块， 所述调整模块具体用于： 当确定出所述晶圆的初始平边位置后， 基于所述拟合圆数据计算出所述晶圆在旋转平 面上相对于 旋转中心的偏移量， 所述偏移量包括x轴偏移量以及y轴偏移量； 根据所述x轴偏移量以及y轴偏移量将所述晶圆移动至所述旋转平面的旋转中心上。 9.一种计算机， 包括存储器、 处理器以及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运 行的计算机程序， 其特征在于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至5中 任意一项所述的 晶圆寻边方法。 10.一种可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 该程序被处理器执行时 实现如权利要求1至 5中任意一项所述的 晶圆寻边方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114972259 A 3