(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210562259.X (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区未来 三路88号 (72)发明人 赵哲　谢真良　陈金星　王庆　 汪严莉　 (74)专利代理 机构 北京英思 普睿知识产权代理 有限公司 16 018 专利代理师 刘莹　聂国斌 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/11(2017.01) G06T 5/00(2006.01) G06T 7/60(2017.01)G06T 7/73(2017.01) G06T 7/90(2017.01) (54)发明名称 用于晶圆的检测方法、 检测装置及存 储介质 (57)摘要 本申请的实施方式提供了一种晶圆的检测 方法、 检测装置及存储介质。 本申请的部分实施 方式中， 用于晶圆的检测方法包括： 确定晶圆的 侧面图像的像素的图像特征值； 对侧面图像的像 素的图像特征值进行统计； 以及根据统计结果确 定晶圆的轮廓是否异常。 本申请提供的晶圆的检 测方法、 检测装置及存储介质可对晶圆进行异常 检测。 权利要求书2页 说明书16页 附图4页 CN 114897853 A 2022.08.12 CN 114897853 A 1.一种用于晶圆的检测方法， 其特 征在于， 包括： 确定所述晶圆的侧面图像的像素的图像特 征值； 对所述侧面图像的像素的图像特 征值进行统计； 以及 根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常。 2.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述对所述侧面图像的图像特征值进行统计包 括： 分别计算所述侧面图像的像素阵列的每一个行和/或列的像素的图像特征值的总和或 均值， 得到所述像素阵列的每一个行和/或列的图像特 征值。 3.根据权利要求2所述的方法， 其中， 所述根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常 包括： 响应于所述统计结果指示所述行和/或列的图像特征值中存在异常值， 确定所述晶圆 的轮廓存在异常。 4.根据权利要求3所述的方法， 其中， 在响应于所述统计结果指示所述列的图像特征值 中存在异常值， 确定所述晶圆的轮廓存在异常后， 所述方法还 包括： 根据所述异常值对应的列确定所述晶圆的轮廓异常的位置 。 5.根据权利要求 4所述的方法， 其中， 所述方法还 包括： 根据所述异常值对应的列中的所述图像特征值异常的像素， 确定轮廓异常区域的纵向 长度； 根据确定出的纵向长度确定所述晶圆的缺陷深度； 以及 响应于所述 缺陷深度处于预设的异常深度范围， 确定所述晶圆存在缺口缺陷。 6.根据权利要求2所述的方法， 其中， 在所述根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异 常之前， 所述方法还 包括： 对所述行和/或列的图像特 征值进行平 滑处理。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法， 其中， 在所述确定所述晶圆的侧面图像的 像素的图像特 征值之前， 所述方法还 包括： 获取所述晶圆的原 始侧面图像； 对所述原 始侧面图像进行 灰度处理； 以及 根据灰度处 理后的原 始侧面图像得到所述侧面图像。 8.根据权利要求7所述的方法， 其中， 所述根据所述灰度处理后的原始侧面图像得到所 述侧面图像包括： 对所述灰度处 理后的原 始侧面图像进行二 值化处理， 得到所述侧面图像。 9.根据权利要求7所述的方法， 其中， 所述晶圆上设置有用于定位的缺口， 所述方法还 包括： 通过对所述原始侧面图像进行裁切， 去除所述原始侧面图像中与所述用于定位的缺口 对应的图像区域。 10.根据权利要求1至5中任一项所述的方法， 其中， 所述图像特征值包括颜色值或亮度 值。 11.一种用于晶圆的检测装置， 其特 征在于， 包括： 确定模块， 用于确定所述晶圆的侧面图像的像素的图像特 征值；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114897853 A 2统计模块， 用于对所述侧面图像的像素的图像特 征值进行统计； 以及 检测模块， 用于根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常。 12.根据权利要求1 1所述的装置， 其中， 所述统计模块被 配置为： 分别计算所述侧面图像的像素阵列的每一个行和/或列的像素的图像特征值的总和或 均值， 得到所述像素阵列的每一个行和/或列的图像特 征值。 13.根据权利要求12所述的装置， 其中， 所述检测模块被 配置为： 响应于所述统计结果指示所述行和/或列的图像特征值中存在异常值， 确定所述晶圆 的轮廓存在异常。 14.根据权利要求13所述的装置， 其中， 所述检测模块还被 配置为： 在响应于所述统计结果指示所述列的图像特征值中存在异常值， 确定所述晶圆的轮廓 存在异常后， 根据所述异常值对应的列确定所述晶圆的轮廓异常的位置 。 15.根据权利要求14所述的装置， 其中， 所述检测模块还被 配置为： 根据所述异常值对应的列中的所述图像特征值异常的像素， 确定轮廓异常区域的纵向 长度； 根据确定出的纵向长度确定所述晶圆的缺陷深度； 以及 响应于所述 缺陷深度处于预设的异常深度范围， 确定所述晶圆存在缺口缺陷。 16.根据权利要求15所述的装置， 其中， 所述检测装置还 包括： 告警模块， 用于响应于所述晶圆的轮廓存在异常， 或者， 所述晶圆存在缺口缺陷， 反馈 告警信息 。 17.一种检测装置， 其特 征在于， 包括： 存储器， 用于存 储计算机指令； 以及 处理器， 用于与所述存储器通信以执行所述计算机指令， 从而实现如权利要求1至10 中 任一项所述的检测方法。 18.一种可读存储介质， 其特征在于， 所述可读存储介质中存储有计算机指令， 所述计 算机指令被处 理器执行时实现如权利要求1至10中任一项所述的检测方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114897853 A 3