(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210725724.7 (22)申请日 2022.06.23 (71)申请人 英特尔产品 （成 都） 有限公司 地址 611731 四川省成 都市成都市高新 技 术开发区西区科新路8-1号 申请人 英特尔公司 (72)发明人 宋存霄　夏朝国　 (74)专利代理 机构 北京永新同创知识产权代理 有限公司 1 1376 专利代理师 林锦辉　刘景峰 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/73(2017.01) G06T 5/00(2006.01) G06V 30/14(2022.01) (54)发明名称 缺陷检测方法与设备 (57)摘要 本发明提供一种缺陷检测方法与设备。 该方 法包括获取一堆叠料盘的整体图像， 其中该堆叠 料盘包括一组料盘， 该整体图像包括所述堆叠料 盘的至少一个侧面的侧面图像； 处理所述至少一 个侧面的侧面图像以识别所述料盘的标识符； 确 定与所述标识符相关的缺陷检测程序； 以及利用 所述缺陷检测程序处理所述整体图像以确定每 个料盘是否存在芯片脱位 缺陷。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 114937031 A 2022.08.23 CN 114937031 A 1.一种缺陷检测方法， 包括： 获取一堆叠料盘的整体图像， 其中该堆叠料盘包括一组料盘， 该整体图像包括所述堆 叠料盘的至少一个侧面的侧面图像； 处理所述至少一个侧面的侧面图像以识别所述料盘的标识符； 确定与所述标识符相关的缺陷检测程序； 利用所述 缺陷检测程序处 理所述整体图像以确定每 个料盘是否存在芯片脱位 缺陷。 2.如权利要求1的缺陷检测方法， 其中处理所述至少一个侧面的侧面图像以识别所述 料盘的标识符包括： 利用光学字符识别程序处 理所述侧面图像以识别位于所述料盘上的标识符。 3.如权利要求2的方法， 其中所述整体图像包括所述堆叠料盘的四个侧面的侧面图像， 其中对于每一个侧面图像， 利用所述 缺陷检测程序处 理所述整体图像进一 步包括： 从所述侧面图像选取至少一个沿高度方向的子区域的图像， 其中至少一个子区域图像 对应于所述 堆叠的一组料盘中每 个料盘的槽位， 其中在所述槽位处承放芯片。 4.如权利要求3的方法， 其中沿高度方向的至少一个子区域的数量小于或等于从所述 侧面看所述 堆叠料盘 每一行横向排列的槽位数量。 5.如权利要求4的方法， 进一步包括： 去 除所述至少一个子区域图像中的噪声图像， 并 且对所述子区域图像进行锐化处理提升所述区域图像的对比度， 其中所述噪声图像包括与 所述堆叠料盘无关的图像。 6.如权利要求5的方法， 其中去除所述至少一个子区域图像中的噪声图像包括： 确定所述子区域图像中的像素 灰度值的突变； 利用平滑灰度值来代替所述灰度值的突变， 其中所述平滑灰度值通过计算围绕发生所 述突变的灰度值的相邻像素的平均像素值 来确定。 7.如权利要求5的方法， 其中利用所述 缺陷检测程序处 理所述整体图像进一 步包括： 识别所述至少一个子区域中的每 个料盘的预定 部位； 计算所述至少一个子区域中相邻的二个料盘的所述预定 部位之间的距离； 基于所述距离与一高度阈值的比较， 确定所述相邻的二个料盘之间是否存在芯片脱位 缺陷。 8.如权利要求7的方法， 其中所述预定部位是每个料盘的边沿， 该边沿相对于所述料盘 的其它部位具有明显的图像特 征差异。 9.如权利要求3 ‑8之一的方法， 其中所述缺陷检测程序定义了与由所述标识符标识 的 料盘相关的参数集中各参数的参数值， 其中所述缺陷检测程序基于所述参数集中各参数的参数值处理所述整体图像以检测 所述脱位 缺陷。 10.如权利要求9的方法， 其中所述缺陷检测程序基于所述参数集中各参数的参数值处 理所述整体图像包括： 基于至少第一 参数值， 选取 所述至少一个子区域的图像； 基于至少第二 参数值， 去除所述至少一个子区域图像中的噪声； 分析所述预定子区域的图像中的每个料盘的所述预定部位的图像特征以便基于至少 第三参数值来检测所述脱位 缺陷， 其中所述第三 参数包括与料盘相关的高度阈值。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114937031 A 211.如权利要求10的方法， 其中 所述第一参数包括： 区域选择参数， 用于指定在所述整体图像中选择的预定子区域图 像的位置， 其中所选的至少一个子区域的数量小于或等于从所述侧面看所述堆叠料盘每一 行横向排列的槽位数量； 所述第二 参数包括： 背景灰度阈值参数， 指示了所述整体图像中背景的灰度 特征以便基于该背景灰度阈值 参数去除所述子区域图像中的背景噪声； 上下限调整参数， 定义了 图像的上、 下边界调整量以消除经过背景噪声去 除的子区域 图像中上、 下边界处的残留噪声。 12.如权利要求1 1的方法， 其中所述第三 参数还包括与料盘相关的高度阈值调整量； 所述方法进一步包括统计芯片脱位缺陷的确定结果以确定是否调整所述高度阈值调 整量。 13.一种缺陷检测设备， 包括： 图像采集单 元， 配置为获取一 堆叠料盘的整体图像； 处理单元， 配置为执行权利要求1 ‑12的方法以确定所述堆叠料盘是否存在 芯片脱位缺 陷。 14.如权利要求13的设备， 所述处理单元进一步配置为： 生成指示所述堆叠料盘中存在 芯片脱位 缺陷的报警信号； 所述设备进一 步包括再现单 元， 用于基于所述报警信号而呈现缺陷提 示。 15.如权利要求13或14的设备， 进一步包括存储器， 用于存储与不同料盘类型对应的缺 陷检测程序。 16.一种机器可读存储介质， 其上存储有程序， 当所述程序由机器执行时使所述机器实 施权利要求1 ‑12之一的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114937031 A 3