(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211381855.4 (22)申请日 2022.11.07 (71)申请人 深圳市志橙半导体材 料有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街 道潭头社区健仓科技研发厂区办公楼 307 (72)发明人 朱佰喜　薛抗美　 (74)专利代理 机构 深圳汉林汇融知识产权代理 事务所(普通 合伙) 44850 专利代理师 吴洪波 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 25/00(2006.01) G01B 11/16(2006.01) G06T 7/00(2017.01) (54)发明名称 一种碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方 法及装置 (57)摘要 本发明涉及人工智能领域， 公开了一种碳化 硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法及装置， 用于 提高碳化硅涂层石墨盘的检测准确率。 所述方法 包括： 将每个温度检测节点对应的检测图像输入 预置的碳化硅涂层检测模型进行表 面涂层检测， 得到每个温度检测节点对应的碳化硅涂层检测 结果； 将每个温度检测节点对应的检测图像输入 预置的石墨盘形变检测模型进行石墨盘形变检 测， 得到每个温度检测节点对应的石墨盘形变检 测结果； 根据每个温度检测节 点对应的碳化硅涂 层检测结果生成目标表面检测曲线， 并根据每个 温度检测节点对应的石墨盘形变检测结果生成 目标形变检测曲线； 根据目标表 面检测曲线和目 标形变检测曲线生成最佳工作温度数据。 权利要求书3页 说明书12页 附图4页 CN 115420756 A 2022.12.02 CN 115420756 A 1.一种碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述碳化硅涂层石墨盘 的表面缺陷检测方法包括： 获取待检测碳化硅涂层石墨盘的属性数据， 并根据所述属性数据确定温度检测集合， 其中， 所述温度检测集 合包括： 多个温度检测节点； 根据所述温度检测集合对所述碳化硅涂层石墨盘进行检测， 并对所述碳化硅涂层石墨 盘进行检测图像采集， 得到每 个温度检测节点对应的检测图像； 将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的碳化硅涂层检测模型进行表面涂层 检测， 得到每 个温度检测节点对应的碳 化硅涂层检测结果； 将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的石墨盘形变检测模型进行石墨盘形 变检测， 得到每 个温度检测节点对应的石墨盘形变 检测结果； 根据所述每个温度检测节点对应的碳化硅涂层检测结果生成 目标表面检测曲线， 并根 据所述每 个温度检测节点对应的石墨盘形变 检测结果 生成目标 形变检测曲线； 根据所述目标表面检测曲线和所述目标 形变检测曲线生成最佳工作温度数据。 2.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述获 取待检测碳化硅涂层石墨盘的属性数据， 并根据所述属性数据确定温度检测集合， 其中， 所 述温度检测集 合包括： 多个温度检测节点， 包括： 从预置的云数据库中查询待检测碳 化硅涂层石墨盘对应的属性数据； 对所述属性数据进行解析， 得到 工作温度阈值； 根据所述工作温度阈值和预置的石墨盘检测策略生成温度检测集合， 其中， 所述温度 检测集合包括： 多个温度检测节点。 3.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述将 每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的碳化硅涂层检测模型进 行表面涂层检测， 得 到每个温度检测节点对应的碳 化硅涂层检测结果， 包括： 将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的碳化硅涂层检测模型， 其中， 所述碳 化硅涂层检测模型包括： 第一卷积网络、 第一全连接网络、 第二卷积网络、 第二全连接网络 和输出层； 通过所述第 一卷积网络对每个温度检测节点对应的检测图像进行特征提取， 得到第 一 卷积特征； 将所述第一卷积特 征输入所述第一全连接网络进行 特征预测， 得到第一预测特 征； 将所述第一预测特 征输入所述第二卷积网络进行 特征提取， 得到第二卷积特 征； 将所述第二卷积特 征输入所述第二全连接网络进行 特征预测， 得到第二预测特 征； 将所述第二预测特征输入所述输出层进行碳化硅涂层破损检测， 得到每个温度检测节 点对应的碳化硅涂层检测结果， 其中， 所述碳化硅涂层检测结果用于指示碳化硅涂层是否 存在破损以及破损点 位和破损面积。 4.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述将 每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的石墨盘形变检测模型进 行石墨盘形变检测， 得到每个温度检测节点对应的石墨盘形变 检测结果， 包括： 将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的石墨盘形变检测模型， 其中， 所述石 墨盘形变 检测模型包括： 区域检测网络、 特 征提取网络和特 征比对网络；权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115420756 A 2通过所述区域检测网络对每个温度检测节点对应的检测图像进行石墨盘凹槽区域提 取， 得到多个石墨盘凹槽区域图像； 将所述多个石墨盘凹槽区域图像输入所述特征提取网络进行区域特征提取， 得到每个 石墨盘凹槽区域图像对应的区域特 征数据； 将每个石墨盘凹槽区域图像对应的区域特征数据输入所述特征比对网络进行形变检 测， 得到每个温度检测节点对应的石墨盘形变检测结果， 其中， 所述石墨盘形变检测结果用 于指示石墨盘是否发生形变以及形变点 位和形变数据。 5.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述根 据所述每个 温度检测节点对应的碳化硅涂层检测结果生成目标表面检测曲线， 并根据所述 每个温度检测节点对应的石墨盘形变 检测结果 生成目标 形变检测曲线， 包括： 对每个温度检测节点对应的碳化硅涂层检测结果进行涂层破损 指标值映射， 得到每个 温度检测节点对应的涂层破损映射 值； 根据所述多个温度检测节点和每个温度检测节点对应的涂层破损映射值构建表面检 测曲线， 得到目标 形变检测曲线； 对每个温度检测节点对应的石墨盘形变检测结果进行石墨盘形变指标值映射， 得到每 个温度检测节点对应的石墨盘形变映射 值； 根据所述多个温度检测节点和每个温度检测节点对应的石墨盘形变映射值构建形变 检测曲线， 得到目标 形变检测曲线。 6.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述根 据所述目标表面检测曲线和所述目标 形变检测曲线生成最佳工作温度数据， 包括： 计算所述目标表面检测曲线中的多个第 一特征值， 以及计算所述目标形变检测曲线中 的多个第二特 征值； 基于预设的曲线解析规则生成第一预测值和第二预测值； 对所述多个第一特 征值和所述第一预测值进行比较， 得到第一特 征分析结果； 对所述多个第二特 征值和所述第二预测值进行比较， 得到第二特 征分析结果； 根据所述第一特 征分析结果和所述第二特 征分析结果生成最佳工作温度数据。 7.根据权利要求1所述的碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法， 其特征在于， 所述碳 化硅涂层石墨盘的表面 缺陷检测方法还 包括： 将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的石墨盘边缘检测模型进行石墨盘边 缘检测， 得到每 个温度检测节点对应的石墨盘边 缘检测结果； 根据每个温度检测节点对应的石墨盘边缘检测结果生成温度和石墨盘边缘之间的关 联关系。 8.一种碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测装置， 其特征在于， 所述碳化硅涂层石墨盘 的表面缺陷检测装置包括： 获取模块， 用于获取待检测碳化硅涂层石墨盘的属性数据， 并根据所述属性数据确定 温度检测集 合， 其中， 所述温度检测集 合包括： 多个温度检测节点； 采集模块， 用于根据所述温度检测集合对所述碳化硅涂层石墨盘进行检测， 并对所述 碳化硅涂层石墨盘进行检测图像采集， 得到每 个温度检测节点对应的检测图像； 第一检测模块， 用于将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的碳化硅涂层检测权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115420756 A 3