(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20221020432 9.4 (22)申请日 2022.03.03 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114268729 A (43)申请公布日 2022.04.01 (73)专利权人 立川 （深圳） 智能科技设备有限公 司 地址 518103 广东省深圳市宝安区福海街 道桥头社区富 桥四区6栋301 (72)发明人 林邦羽　朱斌　 (74)专利代理 机构 深圳汉林汇融知识产权代理 事务所(普通 合伙) 44850 代理人 王淼 (51)Int.Cl. H04N 5/225(2006.01)H04N 5/232(2006.01) G01N 21/88(2006.01) H01L 21/66(2006.01) (56)对比文件 CN 110319311 A,2019.10.1 1 CN 211427003 U,2020.09.04 CN 111396720 A,2020.07.10 TW M479416 U,2014.0 6.01 JP 2001208514 A,20 01.08.03 US 2020109015 A1,2020.04.09 黄威 等. 《基 于深度学习的机 器人电路板自 主故障检测系统》 . 《电工电能新 技术》 .2022, 审查员 牛耘佳 (54)发明名称 一种大面积AOI线扫相机 机构 (57)摘要 本发明涉及一种大面积AOI线扫相机机构， 通过对X、 Y、 Z轴进行微调的同时， 还能通过转轴 带动整体进行任意角度的旋转， 基于此设置， 将 转轴通过联轴器连接在伺服电机上， 通过控制伺 服电机的转动来控制转轴的转动以控制整体的 旋转角度， 可以对晶圆的制作过程进行全程的追 踪， 因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作 点的整个过程追 踪检测。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 114268729 B 2022.04.29 CN 114268729 B 1.一种大面积AOI线扫相机 机构， 其特 征在于， 包括： 镜头座， 该镜 头座的中间部具有安装C CD镜头的镜头安装孔； 在镜头座上面设置有滑轨面； 在镜头座右侧端面设置有与Z轴调节板固定的镜 头座固定孔； Z轴调节板， 在所述Z轴调节板上端设置有用于与镜头座固定的Z轴固定孔， Z轴固定孔 的上部设置有上端开 放的Z轴限位 孔； 在所述Z轴调节板的中间部设置有调节滑块， 在调节滑块的下部设置有多组间距等同 的Z轴调节孔； 在所述Z轴调节板的上部且位于Z轴调节板左侧设置有Z轴凸台面， 所述Z轴固定孔设置 在Z轴凸台面处， 在 Z轴凸台面的下部 设置有Z轴限位面， 在所述Z轴凸台面的上部设置有Y轴 调节板的Z轴匹配面； 所述镜头座的右侧与Z轴 凸台面对接， Z轴限位面用于定位镜头座与Z轴调节板的安装 位置， 对接好后由镜 头座螺丝穿过Z轴固定孔固定在镜 头座固定孔内； 所述Y轴调节板的下部具有一槽面， 所述槽面与所述滑轨面匹配安装， 且所述Y轴调节 板沿所述滑轨面滑动以进行 所述Y轴调节板的Y向位置调整； 所述Y轴调节板的中间部设置有镜 头固定座； 所述Y轴调 节板的右侧端面设置有X轴调 节块固定孔以及Z轴调 节板的Z轴位置限位孔， 所述X轴调节块通过调节块螺丝将调节块固定在Y轴调节板上， Z轴匹配面与Y轴调节板的右 侧端面匹配对接， 然后用Z轴限位螺 丝由Z轴限位 孔穿入固定在Z轴位置限位 孔内； 所述X轴调 节块中间部具有U型凹槽， 且U型凹槽两侧的调 节臂上分别设置有调节X轴调 节板X向位置的X轴调节孔； X轴调节板， 该X轴调节板的中间部具有十字形的相机座安装槽， 相机座固定在相机安 装槽中， 在X轴调节板的上部设置有X轴调整块； 所述X轴调整块安装在U型凹槽内， 通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔以限制X轴调整块 在U型凹槽内的位置 达到调整X轴调节板X向调节； 任意角度调节板， 任意角度调节板左侧面板的中间部设置有Z轴调节槽， 在Z轴调节槽 的下部设置有任意角度调节板固定孔； 所述调节滑块安装在Z轴调节槽内， 并通过Z轴调节 螺钉穿过不同位置的Z轴调节 孔固定在 任意角度调节板固定孔内以达到Z轴调节板的Z向调 节； 所述任意角度调节板的下部设置有任意角度调节块， 该任意角度调节块内部设置有沿 Y向的任意角度调节通孔， 转轴穿入任意角度调节通孔内， 通过转动转轴带动整体旋转以达 到任意角度调节。 2.根据权利 要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述CCD镜头上部设置 有螺纹段， 通过将 CCD镜头上部的螺纹段拧入镜头座固定孔内设置的镜头座螺纹段， 并延伸 至Y轴调节板的中间部的镜 头固定座内。 3.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述Y轴调 节板上设置 有多个Y向调节 孔， Y向调节 孔的调节 孔距为3‑30mm， 在镜头座上设置有Y向调节限位孔， Y向 调节限位螺丝由Y向调节孔穿入固定在Y向调节限位孔内部， 当所述Y轴调节板沿Y向调整 时， 所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动， Y向调节孔的调节孔距限制其Y向移动的距离， 其限权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114268729 B 2位由Y向调节限位螺 丝限制， 以在限定的调节孔距内进行 所述Y轴调节板的Y向位置调整。 4.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述U型凹槽的宽距为 30‑100mm， 所述X轴调整块的宽度为20m m。 5.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述X轴调 节块左侧设 置有调节块凸台， 在所述调节 块凸台处设置有贯穿X轴调节 块的调节块固定孔， 调节块螺丝 穿过调节块固定孔固定在X轴调节块固定孔内， 将所述X轴调节块与所述Y轴调节板固定 。 6.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述X轴调 节板的右侧 且位于所述X轴调整块的两侧设置有调整块限位槽， 调整块限位槽的宽度为3 0‑100mm。 7.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 在所述任意角度调节 板上且位于Z轴调节槽上部 设置有调整块限位杆， 所述调整块限位杆位于调整块限位槽内， 且所述调整块限位杆的直径为20m m。 8.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述X轴调 节板上且位 于十字形相 机座安装槽， 位于相 机座安装槽的四角设置有固定相 机座的相 机座固定孔， 所 述相机座由相机座螺丝穿过相机座上设置的相机座通孔至相机座固定孔中使相机座与所 述X轴调节板固定， 所述相机座上设置有相机 。 9.根据权利 要求8所述的大面积AOI线扫相机机构， 其特征在于， 所述相机和CCD镜头处 于同一轴线上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114268729 B 3