(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210316118.X (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人 上海谦视智能科技有限公司 地址 201600 上海市松江区中山 街道明南 路85号15幢1层 (72)发明人 黄英俊　 (74)专利代理 机构 北京中仟知识产权代理事务 所(普通合伙) 11825 专利代理师 李祥旗 (51)Int.Cl. H04N 5/232(2006.01) G01D 21/00(2006.01) G01B 21/16(2006.01) G01B 21/32(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆检测实时对焦装置及方法 (57)摘要 本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及 方法， 其中， 该装置包括： 镜头模块、 控制器和距 离检测模块； 其中， 镜头模块和距离检测模块相 对设置， 镜头模块与距离检测模块之间留有放置 晶圆的间隙； 镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的 图像； 距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变 化信息， 并将起伏变化信息传输到控制器； 控制 器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模 块的移动补偿量， 并根据计算的移动补偿量向镜 头模块发出移动控制信号； 镜头模块还用于根据 接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的 距离。 本发 明能够在基于简单和低成本的镜头整 体设计的情况下， 确保镜头对焦的准确性和效 果， 有助于提高了晶圆表面检测的准确性和效 率。 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 CN 114785941 A 2022.07.22 CN 114785941 A 1.一种晶圆检测实时对焦装置， 其特征在于， 包括： 镜头模块、 控制器和距离检测模块； 其中， 镜头模块和距离检测模块相对设置， 镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的 间隙； 镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像； 距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息， 并将起伏变化信息传输 到控制器； 控制器用于根据接收到的起伏变化信 息计算镜头模块的移动补偿量， 并根据计算的移 动补偿量向镜 头模块发出移动控制信号； 镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜 头与晶圆表面的距离 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置， 其特征在于， 镜头模块包括运动 轴和镜头； 其中运动轴正对间隙设置， 镜 头与运动轴连接； 运动轴用于根据接收到的移动控制信号控制镜 头在运动轴上远离或接 近晶圆移动。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置， 其特征在于， 距离检测模块包括 距离传感器； 距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的距离， 并将得到的距离信息传输到控制 器； 控制器根据接收到的距离信息计算所述移动补偿量。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置， 其特征在于， 还包括放置模块， 放置模块用于将晶圆固定在镜 头模块与距离检测模块之间的间隙中。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置， 其特征在于， 距离检测模块包括 距离传感器； 当晶圆为透膜或者半透明时， 距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的第一距离， 以及透过晶圆得到自身与晶圆正面之 间的第二距离， 并将得到的第一距离和 第二距离信息 传输到控制器； 控制器根据接收到的第一距离和/或第二距离信息计算所述移动补偿量。 6.一种基于如权利要求1 ‑5中任一项所述的晶圆检测实时对焦装置的对焦方法， 其特 征在于， 包括： 控制器控制镜 头模块和距离检测模块同时移动到晶圆的任意 位置进行检测； 在检测的过程中， 距离检测模块获取晶圆背面的起伏变化信息， 并将起伏变化信息传 输到控制器； 控制器根据接收到的起伏变化信 息计算镜头模块的移动补偿量， 并根据计算的移动补 偿量向镜 头模块发出移动控制信号； 镜头模块根据接收到的移动控制信号调整镜 头与晶圆表面的距离 。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测实时对焦方法， 其特征在于， 控制器根据接收到 的起伏变化信息计算镜 头模块的移动补偿量， 包括： 控制器根据接收到的距离检测模块反馈的距离数据， 计算距离检测模块与晶圆背面之 间的距离变化 量， 并根据得到的距离变化 量得到相应的移动补偿量。 8.根据权利要求7所述的一种晶圆检测实时对焦方法， 其特征在于， 当控制器计算得到 距离检测模块与晶圆背面之 间的距离减少第一长度时， 得到的移动补偿量为镜头向晶圆检 测表面靠 近移动第一长度；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114785941 A 2当控制器计算得到距离检测模块与晶圆背面之间的距离增加第 二长度时， 得到的移动 补偿量为镜头向晶圆检测表面远离移动第二长度。 9.根据权利要求8所述的一种晶圆检测实时对焦方法， 其特征在于， 控制器根据得到的 移动补偿量向镜头模块的运动轴发出相应的控制指 令， 以使得运动轴控制其上的镜头根据 移动补偿量靠 近或原理晶圆移动相应的长度距离 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114785941 A 3