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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210711969.4 (22)申请日 2022.06.22 (71)申请人 上海众壹云计算科技有限公司 地址 200333 上海市 静安区江场三路238号 1217室 (72)发明人 陈建东 刘迪 徐高亮 熊茂  (74)专利代理 机构 重庆恩洲知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 50263 专利代理师 兰渝宏 (51)Int.Cl. G06F 9/50(2006.01) G06T 7/00(2017.01) (54)发明名称 一种针对晶圆检测数据的处理方法、 系统及 存储介质 (57)摘要 本发明涉及一种针对晶圆检测数据的处理 方法, 包括步骤: 通过任务管理端获取待处理的 晶圆检测数据; 基于晶圆检测数据的参数关系特 征匹配到对应的拆 分规则; 基于拆 分规则对晶圆 检测数据进行拆分, 得到若干第一任务块; 基于 第一任务块之间的关系特征对第一任务块进行 编排, 得到至少一个子任务以及子任务的优先 级; 基于子任务的计算量以及优先级, 将至少一 个子任务分配到对应的计算节点上, 且计算节点 构建于计算端的预留资源处。 本发 明对应地还提 供了一种针对晶圆检测数据的处理系统以及计 算可读存储介质。 本发明所提供的方法、 系统及 存储介质可以高效地处 理晶圆检测数据。 权利要求书2页 说明书14页 附图3页 CN 115269175 A 2022.11.01 CN 115269175 A 1.一种针对晶圆检测数据的处 理方法, 其特 征在于, 包括 步骤: 通过任务管理端获取待处 理的晶圆检测数据; 基于所述晶圆检测数据的参数关系特 征匹配到对应的拆分规则; 基于所述拆分规则对所述晶圆检测数据进行拆分, 得到若干第一任务 块; 基于所述第 一任务块之间的关系特征对所述第 一任务块进行编排, 得到至少一个子任 务以及所述子任务的优先级; 基于所述子任务的计算量以及所述优先级, 将至少一个所述子任务分配到对应的计算 节点上, 且所述计算节点构建于计算端的预留资源处; 其中, 所述参数关系特征包括: 独立关系, 和/或依赖关系, 和/或复杂关系, 所述拆分规 则包括: 单一拆解, 和/或声明式拆 分, 和/或自定义拆 分, 相应地, 基于所述晶圆检测数据的 参数关系特 征匹配到对应的拆分规则的步骤 包括: 当所述晶圆检测数据的参数关系特征为独立关系时, 所匹配到的所述拆分规则为单一 拆解; 当所述晶圆检测数据的参数关系 特征为依赖关系时, 所匹配到的所述拆分规则为声 明式拆分; 当所述晶圆检测数据的参数关系 特征为复杂关系时, 所匹配到的所述拆分规则 为自定义拆分。 2.根据权利要求1所述的处理方法, 其特征在于, 所述任务管理端通过心跳检测监控所 述计算节点的使用情况。 3.根据权利要求1所述的处理方法, 其特征在于, 所述子任务包括: 被标记为第一优先 级的至少一个第一子任务, 以及被标记为第二优先级的至少一个第二子任务, 相应地, 所述 基于所述子任务的计算量以及所述优先级, 将至少一个所述子任务分配到相应的计算节点 上的步骤 包括: 将所述第一子任务分配到相应的所述计算节点; 所述计算节点对所述第 一子任务进行计算并得到第 一计算结果, 并将所述第 一计算结 果反馈到所述任务管理端; 所述任务管理端将所述第 一计算结果添加至相应的所述第 二子任务中, 并将所述第 二 子任务分配到相应的所述计算节点。 4.根据权利要求1所述的处理方法, 其特征在于, 所述预留资源包括: 固定区域以及弹 性区域, 相应地, 所述计算节点包括: 预先构建在所述固定区域的固定节点, 以及可在所述 弹性区域内动态地构建与销毁的弹性节点, 相应地, 所述处 理方法还 包括步骤: 基于所述子任务的计算量与所述固定节点的使用情况判断当前是否需要构建所述弹 性节点; 当判断出当前需要构建所述弹性节点 时, 基于所述子任务的计算量与 所述固定节点的 使用情况确定所述弹性节点的弹性构建方案, 并基于所述弹性构建方案在所述弹性区域内 构建所述弹性节点。 5.根据权利要求 4所述的处 理方法, 其特 征在于, 所述处 理方法还 包括步骤: 当所述弹性节点完成相应的计算任务后, 销毁所述弹性节点。 6.根据权利要求4所述的处理方法, 其特征在于, 基于所述子任务的计算量与 所述固定 节点的使用情况确定所述弹性节点的弹性构建方案的步骤 包括: 获取至少两个待分配的所述子任务的计算量的最大值, 并基于所述最大值确定所述弹权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115269175 A 2性节点的计算阈值大小; 或者, 基于待分配的所述子任务的计算量分别建立相 应计算阈值 大小的弹性节点。 7.根据权利要求1所述的处理方法, 其特征在于, 所述将至少一个所述子任务分配到对 应的计算节点上的步骤 包括: 获取所述子任务的计算 量; 获取所述计算节点的计算阈值; 基于所述子任务的计算量与各个所述计算节点的计算阈值将所述子任务分配到对应 的所述计算节点上。 8.根据权利要求1所述的处理方法, 其特征在于, 所述自定义拆分的拆分方式包括: 由 工作人员进行 人工设定的拆分方式, 相应地, 还 包括步骤: 当所述自定义拆分中所存储的拆分方式无法完成对当前的所述晶圆检测数据的拆解 时, 则由工作人员基于所述晶圆检测数据的参数关系特 征设定新的拆分方式。 9.一种针对晶圆检测数据的处理系统, 其特征在于, 包括: 任务管理端, 其中, 所述任务 管理端包括: 任务获取模块, 被配置为用于获取待处理 的晶圆检测数据, 所述晶圆检测数据包括: 晶 圆检测数据; 拆分规则匹配模块, 被配置为用于基于所述晶圆检测数据的参数关系特征匹配到对应 的拆分规则; 其中, 所述参数关系特征包括: 独立关系, 和 /或依赖关系, 和 /或复杂关系, 所 述拆分规则包括: 单一拆解, 和/或声明式拆分, 和 /或自定义拆分; 且当所述参数关系特征 为独立关系时, 所匹配到的所述拆分规则为单一拆解; 当所述参数关系特征为依赖 关系时, 所匹配到的所述拆分规则为声明式拆分; 当所述参数关系 特征为复杂 关系时, 所匹配到的 所述拆分规则为自定义拆分; 任务拆分模块, 被配置为用于基于所述拆分规则对所述晶圆检测数据进行拆分, 得到 若干第一任务 块; 任务编排模块, 被配置为用于基于所述第 一任务块之间的关系特征对所述第 一任务块 进行编排, 得到 至少一个子任务以及所述子任务的优先级; 任务分配模块, 被配置为用于基于所述子任务的计算量以及所述优先级, 将至少一个 所述子任务分配到对应的计算节点上, 且所述计算节点构建于计算端的预留资源处。 10.一种计算机可读存储介质, 其特征在于, 所述存储介质上存储有计算机程序, 所述 计算机程序被处 理器执行时实现权利要求1 ‑8中任一项所述的方法。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115269175 A 3

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