(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222157498.5 (22)申请日 2022.08.16 (73)专利权人 苏州安田丰科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区科灵路 78号苏州高新软件园7号楼1楼101-13 室 (72)发明人 王炫铭　王伟　王静　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种石英光掩膜板全自动清洗 机 (57)摘要 本实用新型公开了一种石英光掩膜板全自 动清洗机， 包括机台， 所述进料的两端分别设置 有进料口和出料口， 所述机台的下侧设置有若干 并排分布的工作隔间， 且若干工作隔间内从左到 右依次设置有纯水喷淋机构、 洗剂擦拭机构、 滚 刷刷洗机构、 纯水超声清洗机构和风刀切水机 构， 其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清 洗机构之间也设置有纯水喷淋机构； 所述机台的 上侧设置有滑动模组， 所述滑动模组上滑动连接 有夹取机构。 本实用新型提供的清洗机有效提高 光掩膜板的清洗效果， 减少光掩膜板上的脏污残 留， 彻底改善了光掩膜板的脏污问题， 而且清洗 过程中不易对光掩膜板表面造成划伤， 提高了产 品在清洗过程中的合格率， 整个设备由系统自动 化控制， 因此大 大提高了光掩膜板的清洗效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218014453 U 2022.12.13 CN 218014453 U 1.一种石英光掩膜板全自动清洗机， 包括机台(1)， 其特征在于， 所述机台(1)的两端分 别设置有进 料口和出料口， 所述机台(1)的下侧设置有若干并排分布的工作隔间， 且若干工 作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构(4)、 洗剂擦拭机构(5)、 滚刷刷洗机构(6)、 纯 水超声清洗机构(7)和风刀切水机构(8)， 其中在所述滚刷刷洗机构(6)和所述纯水超声清 洗机构(7)之间也设置有纯 水喷淋机构(4)； 所述机台(1)的上侧设置有滑动模组(2)， 所述滑动模组(2)上滑动连接有夹取机构 (3)， 所述夹取机构(3)将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组(2)驱动横向滑动， 使 得光掩 膜板依次经过纯水喷淋机构(4)、 洗剂擦拭机构(5)、 滚刷刷洗机构(6)、 纯水喷淋机构(4)、 纯水超声清洗 机构(7)和风刀切水机构(8)。 2.根据权利要求1所述的一种 石英光掩膜板全自动清洗机， 其特征在于， 所述纯水喷淋 机构(4)包括设置 于工作隔间内侧两侧的若干喷头， 且若干喷头均 与纯水管道连接 。 3.根据权利要求1所述的一种 石英光掩膜板全自动清洗机， 其特征在于， 所述洗剂擦拭 机构(5)包括设置于工作隔间外侧 两侧的转动电机(51)， 且所述转动电机(51)的转动杆伸 入工作隔间内侧， 所述转动电机(51)的转动杆上设置有毛刷组件(52)， 且所述毛刷组件 (52)的中间设置有洗剂喷 嘴。 4.根据权利要求1所述的一种 石英光掩膜板全自动清洗机， 其特征在于， 所述滚刷刷洗 机构(6)包括设置于工作隔间外侧两侧的前后移动装置(61)、 以及安装在前后移动装置 (61)上的滚刷组件(62)， 所述夹取机构夹取光掩膜板并带动光掩膜板上下运动， 使得滚刷 组件(62)沿着光掩膜板的表面上 下滚刷清洗 。 5.根据权利要求1所述的一种 石英光掩膜板全自动清洗机， 其特征在于， 所述夹取机构 (3)包括升降模组(32)， 所述升降模组(32)的侧边设置有传动电机(31)， 所述传动电机(31) 通过同步带与所述升降模组(32)传动连接， 所述升降模组(32)上设置有滑板(33)， 所述升 降模组(32)通过丝杆与所述滑板(3 3)传动连接， 所述滑板(3 3)上安装有夹持装置(34)。 6.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机， 其特征在于， 所述机台(1) 上还设置有控制柜(9)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218014453 U 2一种石英光掩膜板全自动清洗机 技术领域 [0001]本实用新型涉及光掩膜板制造技术领域， 特别是一种石英光掩膜板全自动清洗 机。 背景技术 [0002]半导体的生产过程中需要用到一种耗材， 即光掩膜板， 光掩膜板是一种硬面光掩 膜材料， 即光掩膜基板， 它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相 用的感光胶卷)。 [0003]由于光掩膜板在使用时对其表面的光 洁度要求较高， 因此光掩膜板在加工完成需 要对其表面进 行清洗， 目前所采用的方法通常是采用滚轮式结构清洗机对光掩膜板进 行清 洗， 通过滚轮对光掩膜板进 行传动， 由于滚轮的在使用过程会产生脏污或者粘附异物， 因此 可能会导致清洗不彻底， 容易在光掩膜板的表面留下滚轮印， 并且滚轮经过长时间的使用 导致会出现毛刺和缺口等缺陷， 容易造成光掩膜板表现划伤， 从而降低了产品的合格率， 因 此需要对目前 所使用的光掩膜板清洗 机的结构进行改进。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决上述问题， 设计了一种石英光掩膜板全自动清洗 机。 [0005]实现上述目的本实用新型的技术方案为， 一种石英光掩膜板全自动清洗机， 包括 机台， 所述机台的两端分别设置有进料 口和出料 口， 所述机台的下侧设置有若干并排分布 的工作隔间， 且若干工作隔间内从左到右依次设置有 纯水喷淋机构、 洗剂擦拭机构、 滚刷刷 洗机构、 纯水超声清洗机构和风刀切水机构， 其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清 洗机构之间也设置有纯 水喷淋机构； [0006]所述机台的上侧 设置有滑动模组， 所述滑动模组上滑动连接有夹取机构， 所述夹 取机构将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组驱动 横向滑动， 使得光掩膜板依次经过纯水 喷淋机构、 洗剂擦拭机构、 滚刷刷洗机构、 纯水喷淋机构、 纯水超声清洗机构和风刀切水机 构。 [0007]作为本实用新型的进一步补充， 所述纯水喷淋机构包括设置于工作隔间内侧两侧 的若干喷头， 且若干喷头均 与纯水管道连接 。 [0008]作为本实用新型的进一步补充， 所述洗剂擦拭机构包括设置于工作隔间外侧两侧 的转动电机， 且所述转动电机的转动杆伸入工作隔间内侧， 所述转动电机的转动杆上设置 有毛刷组件， 且所述毛刷组件的中间设置有洗剂喷 嘴。 [0009]作为本实用新型的进一步补充， 所述滚刷刷洗机构包括设置于工作隔间外侧两侧 的前后移动装置、 以及安装在前后移动装置上 的滚刷组件， 所述夹取装置夹取光掩膜板并 带动光掩膜板上 下运动， 使得滚刷组件沿着光掩膜板的表面上 下滚刷清洗 。 [0010]作为本实用新型的进一步补充， 所述夹取机构包括升降模组， 所述升降模组的侧说　明　书 1/3 页 3 CN 218014453 U 3