(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222676144.1 (22)申请日 2022.10.12 (73)专利权人 深圳市岗川涂层科技有限公司 地址 518118 广东省深圳市坪 山区龙田街 道老坑社区锦绣中路9号1栋801 (72)发明人 张文录　江鸢飞　 (51)Int.Cl. B08B 1/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种阴极电弧靶的清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种阴极电弧靶的清洁 装置， 包括底板和清洁部件， 所述清洁部件包括 设于底板顶部上的U形固定板、 设于底板顶部上 的导向槽、 设于导向槽内部的移动块、 设于移动 块顶部上的放置盘、 设于放置盘顶部上的电弧 靶、 设于导向槽内部的丝杆、 设于底板一侧与丝 杆相配合的伺服电机、 设于底板顶部上的六个固 定块和设于固定块顶部与U形固定板内顶部之间 的转动辊， 本实用新型通过设置导向杆、 弧形夹 持板、 伸缩弹簧、 转动辊、 丝杆、 移动块、 导向槽和 塑胶毛刷的配合使用， 解决了在阴极电弧靶加工 过程中， 需要对 阴极电弧靶表 面的粘附的杂物进 行清洁， 现有清洁方式大多数靠操作人员手工清 洁， 从而大 大降低了 工作效率的问题。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218108563 U 2022.12.23 CN 218108563 U 1.一种阴极电弧靶的清洁装置， 包括底板 （1） 和清洁部件， 其特征在于： 所述清洁部件 包括设于底板 （1） 顶部上的U形固定板 （2） 、 设于底板 （1） 顶部上的导向槽 （3） 、 设于导向槽 （3） 内部的移动块 （4） 、 设于移动块 （4） 顶部上的放置盘 （5） 、 设于放置盘 （5） 顶部上的电弧靶 （6） 、 设于导向槽 （3） 内部的丝杆 （7） 、 设于底板 （1） 一侧与丝杆 （7） 相配合的伺服电机 （8） 、 设 于底板 （1） 顶部上的六个固定块 （9） 、 设于固定块 （9） 顶部与U形固定板 （2） 内顶部之间的转 动辊 （10） 、 设于转动辊 （10） 表面上的塑胶毛刷 （11） 和设于U形固定板 （2） 顶部上与转动辊 （10） 相配合的驱动电机 （12） ， 所述U形固定板 （2） 底部与底板 （1） 顶部固定连接， 所述移动块 （4） 与导向槽 （3） 滑动连接， 所述放置盘 （5） 底部与移动块 （4） 顶部固定连接， 所述丝杆 （7） 一 端与导向槽 （3） 内侧壁固定连接， 所述丝杆 （7） 的另一端贯穿底板 （1） ， 所述丝杆 （7） 贯穿移 动块 （4） 且与移动块 （4） 螺旋连接， 所述固定块 （9） 底部与底板 （1） 顶部固定连接， 所述转动 辊 （10） 一端与固定块 （9） 轴承连接， 所述转动辊 （10） 另一端贯穿U形固定板 （2） 且与U形固定 板 （2） 轴承连接 。 2.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的清洁装置， 其特征在于： 所述放置盘 （5） 顶部 设有两个弧形夹持板 （14） ， 所述放置盘 （5） 与弧形夹持板 （14） 之间设有四个伸缩弹簧 （13） ， 所述两个弧形夹持板 （14） 相对设置， 所述伸缩弹簧 （13） 一端与放置盘 （5） 侧壁固定连接， 所 述伸缩弹簧 （13） 另一端与弧形夹持板 （14） 侧壁固定连接 。 3.如权利要求2所述的一种阴极电弧靶的清洁装置， 其特征在于： 所述弧形夹持板 （14） 侧壁设有导向杆 （15） ， 所述导向杆 （15） 的一端与弧形夹持板 （14） 侧壁固定连接， 所述导向 杆 （15） 贯 穿放置盘 （5） 侧壁且与放置盘 （5） 滑动连接 。 4.如权利要求2所述的一种阴极电弧靶的清洁装置， 其特征在于： 所述弧形夹持板 （14） 侧壁设有橡胶防护垫 （16） ， 所述橡胶防护垫 （16） 与弧形夹持板 （14） 侧壁固定连接 。 5.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的清洁装置， 其特征在于： 所述放置盘 （5） 的侧 壁分别开设有两个开口部 （17） ， 所述 开口部 （17） 分别贯 穿放置盘 （5） 侧壁。 6.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的清洁装置， 其特征在于： 所述六个固定块 （9） 分别设置 于导向槽 （3） 的两侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218108563 U 2一种阴极电弧靶 的清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于阴极电弧靶技 术领域， 尤其涉及一种阴极电弧靶的清洁装置 。 背景技术 [0002]真空阴极电弧沉积是当前离子镀膜主流技术之一， 它具有离化率高、 粒子能量大、 沉积速度快、 膜/基结合力好等优点， 它能沉积金属、 非金属(如碳、 硅)、 氮化物、 碳化物、 氧 化物、 多 元化合物等薄膜， 它是广泛应用于工模具超硬保护膜制备和钟表、 手机、 眼镜、 建 筑五金和日用五金等装饰膜制备的离 [0003]子镀技。 [0004]现有技术存在的问题是： 在阴极电弧靶加工过程中， 需要对阴极电弧靶表面的粘 附的杂物进行清洁， 现有清洁方式大多数靠操作人员手工清洁， 从而大 大降低了 工作效率。 发明内容 [0005]针对现有技术存在的问题， 本实用新型提供了一种阴极电弧靶的清洁装置， 具备 不需要操作人员对阴极电弧靶进行手工清洁的优点， 解决了现有在阴极电弧靶加工过程 中， 需要对阴极电弧靶表面的粘附的杂物进行清洁， 现有清洁方式大多数靠操作人员手工 清洁， 从而大 大降低了 工作效率的问题。 [0006]本实用新型是这样实现的， 一种阴极电弧靶的清洁装置， 包括底板和清洁部件， 所 述清洁部件包括设于底板顶部上的U 形固定板、 设于底板顶部上的导向槽、 设于导向槽内部 的移动块、 设于移动块顶部上的放置盘、 设于放置盘顶部上的电弧靶、 设于导向槽内部的丝 杆、 设于底板一侧与丝杆相配合的伺服电机、 设于底板顶部上的六个固定块、 设于固定块顶 部与U形固定板内顶部之 间的转动辊、 设于转动辊表面上的塑胶毛刷和设于U 形固定板顶部 上与转动辊相配合的驱动电机， 所述U 形固定板底部与底板顶部固定连接， 所述移动块与导 向槽滑动连接， 所述放置盘底部与移动块顶部固定连接， 所述丝杆一端与导向槽内侧 壁固 定连接， 所述丝杆的另一端贯穿底板， 所述丝杆贯穿移动块且与 移动块螺旋连接， 所述固定 块底部与底板顶部固定连接， 所述转动辊一端与固定块轴承连接， 所述转动辊另一端贯穿U 形固定板且与U形固定 板轴承连接 。 [0007]作为本实用新型优选 的， 所述放置盘顶部设有两个弧形夹持板， 所述放置盘与弧 形夹持板之间设有四个伸缩弹簧， 所述两个弧形夹持板相对设置， 所述伸缩弹簧一端与放 置盘侧壁固定连接， 所述伸缩弹簧另一端与弧形夹持板侧壁固定连接 。 [0008]作为本实用新型优选 的， 所述弧形夹持板侧壁设有导向杆， 所述导向杆的一端与 弧形夹持板侧壁固定连接， 所述 导向杆贯 穿放置盘侧壁且与放置盘滑动连接 。 [0009]作为本实用新型优选 的， 所述弧形夹持板侧壁设有橡胶防护垫， 所述橡胶防护垫 与弧形夹持板侧壁固定连接 。 [0010]作为本实用新型优选 的， 所述放置盘的侧壁分别开设有两个开口部， 所述开口部 分别贯穿放置盘侧壁。说　明　书 1/4 页 3 CN 218108563 U 3