(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210599355.1 (22)申请日 2022.05.30 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址 100176 北京市北京经济技 术开发区 文昌大道8号 (72)发明人 李加波　陈虹　贾文华　李光健　 (74)专利代理 机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 1 1112 专利代理师 彭瑞欣　王婷 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 射频电源及其冷却控制方法 (57)摘要 本发明提供一种射频电源及其冷却控制方 法， 包括电源组件、 冷却装置和控制装置， 冷却装 置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀， 控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷 却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第 一温度差值 以及电源组件的当前功率与上一检 测周期的功率之间的功率差值， 对调节阀的开启 程度进行调节； 以及， 在电源组件为非运行状态 时， 在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装 置的可调目标温度， 否则在入水温度低于或等于 结露温度时提高可调目标温度； 再对调节阀的开 启程度进行调节， 以使冷却装置的温度检测值趋 近于可调目标温度。 本发明的射频电源能够提高 电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 CN 114980677 A 2022.08.30 CN 114980677 A 1.一种射频电源， 其特征在于， 所述射频电源包括电源组件、 冷却装置和控制装置， 所 述冷却装置包括流体通路和设置在所述流体通路上的调节阀， 所述流体通路用于与冷源连 接， 以使所述冷源提供 的冷却液在所述流体通路中流动并吸收所述电源组件产生的热量， 所述调节阀用于调节所述流体通路中所述冷却液的流量， 所述控制装置用于在所述电源组 件为运行状态 时， 周期性地检测所述冷却装置的温度以及所述电源组件的功率； 根据所述 冷却装置的温度检测 值与预设目标温度之间的第一温度差值以及所述电源组件的当前功 率与上一检测周期所述电源组件的功率之 间的功率差值， 确定所述调节阀开启程度的第一 调节量， 并根据所述第一调节 量对所述调节阀的开启程度进 行调节； 其中， 所述第一调节 量 随所述第一温度差值以及所述功 率差值的增大而增大， 随所述第一温度差值以及所述功 率 差值的减小 而减小； 以及， 在所述电源组件为非运行状态时， 周期性地检测所述冷却装置的出水温度、 入水 温度以及所述冷却装置所在环境的环境湿度； 在所述出水温度高于出水温度阈值时， 降低 所述冷却装置的可调目标温度， 在所述出水温度低于或等于所述出水温度阈值时， 根据所 述环境湿度确定结 露温度， 并在所述入水温度低于或等于所述结 露温度时提高所述冷却装 置的可调目标温度； 再根据所述冷却装置的温度检测值与可调目标温度之 间的第二温度差 值， 对所述调节阀的开启程度进行调节， 以使所述冷却装置的温度检测 值趋近于所述可调 目标温度。 2.根据权利要求1所述的射频电源， 其特征在于， 所述射频电源还包括第一温度传感 器、 温度采集电路、 功 率传感器和功 率采集电路， 所述第一温度传感器用于检测所述冷却装 置的温度， 所述功率传感器用于检测所述电源组件的功率； 所述控制装置用于通过所述温 度采集电路接收所述第一温度传感器的检测结果， 并通过所述功率采集电路接收所述功 率 传感器的检测结果； 所述射频电源还包括第二温度传感器、 第三温度传感器、 湿度传感器和湿度采集电路， 所述第二温度传感器用于检测所述冷却装置中流体通路入水端的入水温度， 所述第三温度 传感器用于检测所述冷却装置中流体通路出水端的出水温度， 所述湿度传感器用于检测所 述射频电源内部的环 境湿度； 所述控制装置还用于通过所述温度采集电路接收所述第二温 度传感器和所述第三温度传感器的检测结果， 并通过所述湿度采集电路接收所述湿度传感 器的检测结果。 3.根据权利要求1所述的射频电源， 其特征在于， 所述射频电源还包括驱动电路， 所述 控制装置用于控制所述驱动电路对所述调节阀的开启程度进行调节。 4.根据权利要求1至3中任意一项所述的射频电源， 其特征在于， 所述控制装置预存有 所述环境湿度与所述结 露温度之间的对照表， 所述控制装置具体用于基于预存的所述对照 表， 确定当前 所述环境湿度对应的所述结露温度。 5.一种冷却控制方法， 应用于权利要求1至4中任意一项所述的射频电源中， 所述方法 包括： 在所述电源组件为运行状态时， 周期性地检测所述冷却装置的温度以及所述电源组件 的功率； 根据所述冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及所述电源 组件的当前功率与上一检测周期所述电源组件的功 率之间的功率差值， 确定所述调节阀开权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114980677 A 2启程度的第一调节量， 其中， 所述第一调节量 随所述第一温度差值以及所述功率差值的增 大而增大， 随所述第一温度差值以及所述功率差值的减小 而减小； 根据所述第一调节量对所述调节阀的开启程度进行调节； 以及 在所述电源组件为非运行状态时， 周期性地检测所述冷却装置的出水温度、 入水温度 以及所述冷却装置所在环境的环境湿度； 若所述出水温度高于出水温度阈值， 则降低所述冷却装置的可调目标温度， 若所述出 水温度低于或等于所述出水温度阈值， 则根据所述环境湿度确定结露温度， 并在所述入水 温度低于或等于所述结露温度时， 提高所述冷却装置的可调目标温度； 根据所述冷却装置的温度检测值与 可调目标温度之间的第 二温度差值， 对所述调节阀 的开启程度进行调节， 以使所述冷却装置的温度检测值趋 近于所述可调目标温度。 6.根据权利要求5所述的冷却控制方法， 其特征在于， 所述调节阀开启程度的第 一调节 量为： Ki*Ek+Kp*(Ek‑Ek‑1)+Kd*(Pk‑Pk‑1)， 其中， Kp为第一预设比例调节系数， Ki为第一预设积 分调节系数， Kd为第一预设微分调节系数， Ek为当前第一温度差值， Ek‑1为上一检测周期对应 的第一温度差值， Pk为当前功率差值， Pk‑1为上一检测周期对应的功率差值。 7.根据权利要求6所述的冷却控制方法， 其特征在于， 根据 所述调节阀开启程度的第 一 调节量对所述调节阀的开启程度进行调节， 具体包括： 将所述调节阀当前的控制量与所述第一调节量相加， 得到目标控制量； 将所述调节阀的开启程度调节至所述目标控制量。 8.根据权利要求5至7中任意一项所述的冷却控制方法， 其特征在于， 所述根据所述环 境湿度确定结露温度， 具体包括： 基于预存的所述环境湿度与 所述结露温度之间的对照表， 确定当前所述环境湿度对应 的所述结露温度。 9.根据权利要求8所述的冷却控制方法， 其特征在于， 所述根据 所述冷却装置的温度检 测值与可调目标温度之间的第二温度差值， 对所述调节阀的开启程度进行调节， 具体包括： 根据所述冷却装置的温度检测值与所述可调目标温度之间的第二温度差值确定所述 调节阀开启程度的第二调节量， 其中， 所述第二调节量随所述第二温度差值的增大而增大， 随所述第二温度差值的减小 而减小； 根据所述第二调节量对所述调节阀的开启程度进行调节。 10.根据权利要求9所述的冷却控制方法， 其特征在于， 所述第二调节量为： Ki′*Ek′+ Kp′*(Ek′ ‑Ek‑1′)， 其中， Kp′为第二预 设比例调节系数， Ki′为第二预 设积分调节系数， Ek′为当 前第二温度差值， Ek‑1′为上一检测周期对应的第二温度差值。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114980677 A 3