(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123341808.0 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 苏州镭明激光科技有限公司 地址 215123 江苏省苏州市金鸡湖大道 99 号04幢102室 (72)发明人 施心星　 (74)专利代理 机构 北京恒博知识产权代理有限 公司 11528 专利代理师 张晓芳 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) B23K 26/38(2014.01) (54)实用新型名称 一种加工平台 (57)摘要 本申请公开了一种加工平台， 包括第一平 台、 第二平台、 承载件以及校正机构。 第一平台具 有第一空腔； 第二平台与第一平台沿第一预设方 向滑动连接， 第二平台具有第二空腔。 承载件包 括用于承 载待加工件的承 载板， 承载件与第二平 台沿第二预设方向滑动连接， 第二预设方向与第 一预设方向垂直。 校正机构位于第一空腔内， 用 于对待加工件进行校正对位， 且 校正机构与第一 平台连接。 本申请实施例中， 将所述校正机构设 置在所述第一平台的所述第一空腔中， 减小了所 述第二平台的负载， 使 得所述第二平台的高速运 动更稳定 。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217749934 U 2022.11.08 CN 217749934 U 1.一种加工平台， 其特 征在于， 包括： 第一平台， 具有第一空腔； 第二平台， 与所述第一平台沿第一预设方向滑动连接， 所述第二平台具有第二空腔； 承载件， 包括用于承载待加工件的承载板， 所述承载件与所述第二平台沿第二预设方 向滑动连接， 所述第二预设方向与所述第一预设方向垂直； 校正机构， 位于所述第一空腔内， 用于对所述待加工件进行校正对位， 且所述校正机构 与所述第一平台连接 。 2.根据权利要求1所述的加工平台， 其特征在于， 所述第一平台上设置有多条第一滑 轨， 所有所述第一滑轨均沿所述第一预设方向延伸， 所述第二平台与所述第一滑轨滑动连 接。 3.根据权利要求2所述的加工平台， 其特征在于， 所述第 二平台的下端设置有多个 台阶 结构， 所述台阶结构与所述第一滑轨一 一对应触接， 以对所述第二平台进行限位。 4.根据权利要求1或2或3所述的加工平台， 其特征在于， 所述第二平台包括内侧的第一 侧壁以及第二侧 壁， 所述第一侧壁以及所述第二侧 壁沿所述第二预设方向延伸， 且所述第 一侧壁以及所述第二侧 壁上均设置有第二滑轨， 所述第二滑轨沿所述第二预设方向延伸， 所述承载件与所述第二滑轨滑动连接 。 5.根据权利要求4所述的加工平台， 其特征在于， 所述第 一侧壁以及所述第 二侧壁上还 设置有对所述承载件进行限位的凹槽 。 6.根据权利要求2所述的加工平台， 其特征在于， 所述第一平台包括挡板与侧板， 所述 挡板与所述侧板连接， 所述挡板均位于所述第一滑轨的上方， 且所述挡板穿设所述第二平 台。 7.根据权利要求1所述的加工平台， 其特 征在于， 所述承载板为透光承载板 。 8.根据权利要求1所述的加工平台， 其特征在于， 所述校正机构与所述第 一平台沿竖向 滑动连接 。 9.根据权利要求1所述的加工平台， 其特征在于， 所述承载件还包括连接部， 所述连接 部与所述第二平台滑动连接， 所述承载板与所述连接 部转动连接 。 10.根据权利要求1或9所述的加工平台， 其特征在于， 所述承载板上设置有吸附孔， 且 所述吸附孔设置有 多个。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217749934 U 2一种加工 平台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆激光加工领域， 尤其涉及一种加工平台。 背景技术 [0002]相关技术中， 常用的开槽加工平台是将晶圆放置在加工平台上， 对晶圆进行校正 定位， 然后使用激光对晶圆进行开槽加工。 目前市面上 的加工平台是将两个互相垂直的平 台叠加， 然后在两个叠加平台上方再架设旋转台， 然后将视觉系统安装到旋转台与叠加平 台的中间， 用于实现对晶圆的校正对位， 以便在晶圆上进行开槽加工操作。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供一种精密加工平台， 能够减轻第二平台的负载， 使得第二平台的 运动更稳定。 [0004]具体的， 本申请实施例提供一种精密加工平台， 包括第一平台、 第二平台、 承载件 以及校正机构。 [0005]所述第一平台具有第一空腔； 所述第二平台与所述第一平台沿第一预设方向滑动 连接， 所述第二平台具有第二空腔。 所述承载件包括用于承载待加工件的承载板， 所述承载 件与所述第二平台沿第二预设方向滑动连接， 所述第二预设方向与所述第一预设方向垂 直。 所述校正机构位于所述第一空腔内， 用于对所述待加工件进 行校正对位， 且 所述校正机 构与所述第一平台连接 。 [0006]根据一些实施例， 所述第一平台上设置有多条第一滑轨， 所有所述第一滑轨均沿 所述第一预设方向延伸， 所述第二平台与所述第一滑轨滑动连接。 设置多 条所述第一滑轨， 可以共同承担负载， 相较于单条滑轨而言， 在多 条所述第一滑轨中， 负载分摊到每一条所述 第一滑轨上， 使得一条所述第一滑轨的负载得到了减轻， 从而提高了所述第二平台的运行 稳定性。 [0007]根据一些实施例， 所述第二平台的下端设置有多个台阶结构， 所述台阶结构与所 述第一滑轨一一对应触接， 以对所述第二平台进行限位。 所述台阶结构使得所述第二平台 沿所述第一滑轨的滑动更 稳定， 防止所述第二平台与所述第一滑轨发生相对移动。 [0008]根据一些实施例， 所述第二平台包括内侧的第一侧壁以及第二侧壁， 所述第一侧 壁以及所述第二侧壁沿所述第二预设方向延伸， 且所述第一侧壁以及所述第二侧壁上均设 置有第二滑轨， 所述第二滑轨沿所述第二预设方向延伸， 所述承载件与所述第二滑轨滑动 连接。 所述承载件直接与所述第二滑轨连接， 可以减小负载， 而且还 可以降低所述加工平台 的重心， 从而 使得所述加工平台的运行 更稳定。 [0009]根据一些实施例， 所述第一侧壁以及所述第二侧壁上还设置有对所述承载件进行 限位的凹槽。 所述凹槽使得所述承载件沿所述第二滑轨的滑动更稳定， 防止所述承载件与 所述第二滑轨发生相对移动。 [0010]根据一些实施例， 所述第一平台包括挡板与侧板， 所述挡板与所述侧板连接， 所述说　明　书 1/5 页 3 CN 217749934 U 3