(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123444684.9 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 无锡中微掩 模电子有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道202号 (72)发明人 华卫群　尤春　刘维维　薛文卿　 (74)专利代理 机构 无锡苏元专利代理事务所 (普通合伙) 32471 专利代理师 邓琪 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) B23K 26/00(2014.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种新型激光束修补机 工作台 (57)摘要 本实用新型公开了一种新型激光束修补机 工作台， 包括放置平台， 放置平台的顶部开设有 放置槽， 放置槽的四角均固定连接有三角支撑 板， 放置槽的底部固定连接有四个L形限位条， 放 置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支 撑顶针， 放置槽的外部镂空， 本实用新型的有益 效果： 本装置操作 简单方便， 通过放置槽与L形限 位条能够对不同型号的掩膜版进行限位， 再通过 底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调， 使显示 图像更加清晰， 提高精准 性。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217316464 U 2022.08.30 CN 217316464 U 1.一种新型激光束修补机工作台， 其特征在于， 包括放置平台(1)， 所述放置平台(1)的 顶部开设有放置槽(3)， 所述放置槽(3)的四角均固定连接有三角支撑板(4)， 所述放置槽 (3)的底部固定连接有四个L形限位条(2)， 所述放置槽(3)的底部位于四个L形限位条(2)之 间设有三个支撑顶针(5)， 所述 放置槽(3)的外 部镂空。 2.根据权利要求1所述的一种新型激光束修补机工作台， 其特征在于： 所述放置平台 (1)的底部设有三个伺服电机(6)， 所述伺服电机(6)的输出端与支撑顶针(5)螺纹连接 。 3.根据权利要求2所述的一种新型激光束修补机工作台， 其特征在于： 所述放置平台 (1)的外部设有控制器， 控制器 设有一号拨动开关(7)、 二号拨动开关(8)和微调旋钮(9)， 控 制器与三个伺服电机(6)电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217316464 U 2一种新型激光束修补机工作台 技术领域： [0001]本实用新型属于掩 模制版技 术领域， 特别涉及一种新型激光束修补机 工作台。 背景技术： [0002]掩模是在一个石英基材上以铬膜所构成之集成电路设计图案， 其目的为了将设计 出的集成电路图案利用掩模投影微缩转移至晶圆上， 在掩模生产制 造过程中， 缺陷修补是 一道重要工序， 尤其是当集 成电路工艺发展到7纳米技术节 点时， 随着图形特征尺寸越来越 小， 图形复杂多样， 对缺陷要求越来越严格， 若掩模版上存在缺陷， 经光刻等工艺流程处理， 缺陷就被复刻到圆片上， 最 终造成集成电路开、 短路异常， 使芯片良率降低， 如果不修补， 报 废处理， 不但增 加生产成本， 而且影响产品交期。 实用新型内容： [0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型激光束修补机工作 台， 通过放置槽与L形限位条能够 对不同型号的掩膜版进行限位， 再通过底部设置的伺服电 机对掩膜版进行微调， 使显示图像更加清晰， 提高精准 性。 [0004]为了解决上述问题， 本实用新型提供了一种技 术方案： [0005]一种新型激光束修补机工作 台， 包括放置平台， 所述放置平台的顶部开设有放置 槽， 所述放置槽的四角均固定连接有三角支撑板， 所述放置槽的底部固定连接有四个L形限 位条， 所述放置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支撑顶针， 所述放置槽的外部镂 空。 [0006]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述放置平台的底部设有三个伺服电机， 所述伺服电机的输出端与支撑顶针螺纹连接 。 [0007]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述放置平台的外部设有控制器， 该控制 器设有一 号拨动开关、 二 号拨动开关和微调旋钮， 控制器与三个伺服电机电性连接 。 [0008]本实用新型的有益效果： 本装置操作简单方便， 通过放置槽与L形限位条能够对不 同型号的掩膜版进行限位， 再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调， 使显示图像更 加清晰， 提高精准 性。 附图说明： [0009]为了易于说明， 本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。 [0010]图1为本实用新型的立体结构示 意图； [0011]图2为本实用新型的剖视结构示 意图。 [0012]图中： 1、 放置平台； 2、 L形限位条； 3、 放置槽； 4、 三角支撑板； 5、 支撑顶针； 6、 伺服电 机； 7、 一号拨动开关； 8、 二 号拨动开关； 9、 微调旋钮。说　明　书 1/2 页 3 CN 217316464 U 3