(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123370424.1 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 南光高科 （厦门） 激光科技有限公 司 地址 361021 福建省厦门市集美区软件园 三期诚毅大街370号10 02单元 (72)发明人 丘国雄　贾富强　陈银榕　冯涣　 李巍伟　叶泽群　 (74)专利代理 机构 天津盈佳知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 12224 专利代理师 孙宝芸 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/142(2014.01) B23K 26/064(2014.01)B23K 26/03(2006.01) B23K 26/70(2014.01) H01L 21/67(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种晶圆激光赋码系统 (57)摘要 本申请公开了一种晶圆激光赋码系统， 包括 机柜和激光光源， 机柜内安装工控机， 机柜上安 装距离调节装置， 激光光源安装在 距离调节装置 上； 机柜上安装用于夹持待加工的晶圆的夹具； 其对晶圆的赋码加工方式属于非接触加工， 无机 械应力， 能有效的提升产品质量； 可以通过机器 视觉定位赋码， 对位精度高， 在加工平面范围内 夹具可以随意角度摆放， 赋码位置一致性好， 大 大提高了生产效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216780673 U 2022.06.21 CN 216780673 U 1.一种晶圆激光赋码系统， 所述晶圆激光赋码系统包括机柜和激光光源， 所述机柜内 安装工控机， 其特征在于， 所述机柜上安装距离调节装置， 所述激光光源安装在所述距离调 节装置上； 所述机柜上安装用于夹持待加工的晶圆的夹具； 所述距离调节装置上安装机器 视觉系统， 所述机器视觉系统包相机、 光学镜头和图像采集卡； 所述光学镜头安装在所述相 机的入射 光一侧， 所述相机通过 所述图像采集 卡连接工控机。 2.如权利要求1所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述夹具上设置卡槽， 所述晶 圆嵌入固定在所述 卡槽内。 3.如权利要求1所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述机器视觉系统设置照明 件， 所述照明件设置在所述晶圆与所述 光学镜头之间。 4.如权利要求1所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述晶圆激光赋码系统设置烟 尘净化器。 5.如权利要求1 ‑4中任一项所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述距离调节装置 包括升降立柱、 丝杆、 轴承和固定架； 所述丝杆的上端和下端分别通过所述轴承连接在所述 固定架上， 所述升降立柱上设置内螺纹孔， 具有外螺纹的所述丝杆通过所述内螺纹孔与所 述升降立柱连接 。 6.如权利要求5所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述内螺纹孔设置在所述升降 立柱中心处。 7.如权利要求5所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述固定架的上端和下端之间 连接有导向杆， 所述升降立柱上设置导向孔， 所述 导向杆穿过 所述导向孔。 8.如权利要求7所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述导向杆的数量为偶数个， 且以所述升降立柱的竖向中心轴为对称轴， 均匀对称分布。 9.如权利要求5所述的晶圆激光赋码系统， 其特征在于， 所述激光光源和所述机器视觉 系统安装在所述升降立柱上。 10.如权利要求5所述的 晶圆激光赋码系统， 其特 征在于， 所述丝杆 连接手柄或电机 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216780673 U 2一种晶圆 激光赋码系统 技术领域 [0001]本申请涉及激光赋码技 术领域， 尤其涉及一种晶圆激光赋码系统。 背景技术 [0002]晶圆， 举例来说， 可以是制作硅半导体电路所用的硅晶片， 其原始材料是硅。 高纯 度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒再经过研 磨， 抛光， 切片后， 形成硅晶圆片， 也 就是晶圆。 [0003]晶圆一般都有硬度高、 脆性大、 导热率差的特点。 晶圆标记步骤是半导体制造过程 中不可缺少的步骤， 其目的主要是为了标记晶圆的ID(Identity)， 以方便在对晶圆的后续 制作、 测试和封装工艺中追踪晶圆。 [0004]晶圆的ID通常标记在晶圆边缘或者侧面。 现有技术中主要有两种标记方式： 一、 采 用传统的喷墨系统， 其精度差、 成本高、 不环保、 易涂改、 防伪性差； 二、 采用普通激光在晶圆 侧面赋码， 但由于晶圆侧 面为非抛光面， 赋码对比度很差， 需要高端扫码器才能识别， 导致 赋码效果差， 赋码识别困难， 提高成本 。 实用新型内容 [0005]本申请提出一种晶圆激光赋码系统， 旨在 解决现有技术的晶圆激光赋码系统所存 在的精度差、 成本高、 不环保、 易涂 改、 防伪性差、 以及赋码效果差和赋码识别困难的问题， 使其对晶圆的赋码加工能够提高精度， 降低 成本， 环保性好， 赋码不容易脱落涂改， 防伪性 能好， 赋码效果 好及易于识别。 [0006]本实用新型提供的晶圆激光赋码系统， 包括机柜和激光光源， 机柜内安装工控机， 机柜上安装距离调节装置， 激光光源安装在距离调节装置上； 机柜上安装用于夹持待加工 的晶圆的夹具； 距离调节装置上安装机器视觉系统， 机器视觉系统包相机、 光学镜头和图像 采集卡； 光学镜 头安装在相机的入射 光一侧， 相机通过图像采集 卡连接工控机。 [0007]而且， 夹具 上设置卡槽， 晶圆嵌入固定在卡槽内。 [0008]而且， 机器视 觉系统设置照明件， 照明件设置在晶圆与光学镜 头之间。 [0009]而且， 晶圆激光赋码系统设置烟尘净化器。 [0010]进一步， 距离调节装置包括升降立柱、 丝杆、 轴承和固定架； 丝杆的上端和下端分 别通过轴承连接在固定架上， 升降立柱上设置内螺纹孔， 具有外螺纹的丝杆通过内螺纹孔 与升降立柱连接 。 [0011]而且， 内螺纹孔置在升降立柱中心处。 [0012]而且， 固定架的上端和下端之间连接有导向杆， 升降立柱上设置导向孔， 导向杆穿 过导向孔。 [0013]而且， 导向杆的数量为偶数个， 且以升降立柱的竖向中心轴为对称轴， 均匀对称分 布。 [0014]而且， 激光 光源和机器视 觉系统安装在升降立柱上。说　明　书 1/4 页 3 CN 216780673 U 3