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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123338871.9 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 深圳泰德半导体装备有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区坑梓街 道沙田社区新 沧海2#810 (72)发明人 黄昌春 李文强 杨建新 朱霆  盛辉 周学慧 张凯  (74)专利代理 机构 深圳市恒程创新知识产权代 理有限公司 4 4542 专利代理师 钟永翠 (51)Int.Cl. B23K 26/064(2014.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 26/38(2014.01) (54)实用新型名称 一种激光 光路的密封结构及激光设备 (57)摘要 本实用新型公开一种激光光路的密封结构 及激光设备, 其中, 安装架的顶部设置有安装板; 安装板顶部设置有第一反射镜和第二反射镜; 安 装架的一侧设置有飞行光路模块, 飞行光路模块 位于安装板的下方激光发射模块设置于安装架 的顶部; 激光发射模块的输出端与第一反射镜的 输入端相对; 第一反射镜模块和第二反射镜模块 用于反射激光发射模块发出的光束; 飞行光路模 块用于接收第二反射镜模块反射的光束; 第一密 封罩与安装板的顶部可拆卸连接; 第二密封罩与 安装板的顶部连接; 第一防护罩两端分别与第一 密封罩和第二密封罩连接; 第二防护罩两端分别 连通第二反射镜模块和飞行光路模块连接。 本实 用新型的技术方案具有防尘效果好、 密封效果好 和方便维护的特点。 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 CN 217096139 U 2022.08.02 CN 217096139 U 1.一种激光 光路的密封结构, 其特 征在于, 包括: 安装架, 顶部设置有安装板; 所述安装板的顶部设置有第 一反射镜模块、 第 二反射镜模 块, 所述安装架的一侧设置有飞行光路模块, 所述飞行光路模块 位于所述 安装板的下 方; 激光发射模块, 设置于所述安装架的顶部, 并位于所述安装板的一侧; 所述激光发射模 块的输出端与所述第一反射镜模块的输入端相对; 所述第一反射镜模块和所述第二反射镜 模块用于改变所述激光发射模块的光束射向; 所述飞行光路模块用于接收第二反射镜模块 反射的光束以射出; 第一密封罩, 与所述安装板的顶部可拆卸连接; 所述第一反射镜模块位于所述第一密 封罩内; 所述激光发射模块的光线从所述第一密封罩的一端射入所述第一密封罩内; 第二密封罩, 与所述安装板的顶部可拆卸连接, 所述第二反射镜模块位于第二密封罩 内; 所述第二反射镜模块的反射 光线从所述第一密封罩的一侧射入所述第二密封罩内; 第一防护罩, 两端分别与所述第一密封罩和所述第二密封罩连接; 第二防护罩, 两端分别连通所述第二反射镜模块和所述飞行光路模块连接 。 2.如权利要求1所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述第 一密封罩和所述第 二 密封罩与所述 安装板的连接处均设置有密封条。 3.如权利要求1所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述第 一防护罩和所述第 二 防护罩均为 风琴罩。 4.如权利要求1至3中任意一项所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述第一密 封罩上设置有第一通孔和第二通孔, 所述第一通孔与所述激光发射模块的输出端相对, 所 述第二通孔设置于靠近所述第二密封罩的一侧; 所述第一防护罩的一端通过所述第二通孔 与所述第一密封罩的内部连通。 5.如权利要求4所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述第 二密封罩上设置有第 三通孔, 所述第三通孔设置于靠近所述第一密封罩的一侧, 并与所述第二通孔的位置相对; 所述第一防护罩的另一端通过所述第三通孔与第二密封罩的内部连通, 所述第一防护罩的 另一端与第二密封罩的内部连通。 6.如权利要求5所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述安装板上设置有第四通 孔, 所述第四通孔位于所述飞行光路模块的上方, 所述第二防护罩的一端通过所述第四通 孔与所述第二密封罩内部连通, 所述第二防护罩的另一端通过所述 飞行光路模块的输入端 连通。 7.如权利要求1至3中任意一项所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 所述第一防 护罩的两端分别与所述第一密封罩和所述第二密封罩螺纹连接; 第二防护罩的两端分别与 所述安装板和所述飞行光路模块螺纹连接 。 8.如权利要求1至3中任意一项所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 还包括有 防 尘罩, 所述防尘罩盖在所述第一防护罩的外表面, 与所述 安装板的顶部可拆卸连接 。 9.如权利要求1至3中任意一项所述的激光光路的密封结构, 其特征在于, 还包括有准 直模块, 所述准直模块设置于所述第一密封罩内, 位于所述第一反射镜模块和所述激光发 射模块之间。 10.一种激光设备, 其特征在于, 包括权利要求1至9任意一项所述的激光光路的密封结 构。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217096139 U 2一种激光 光路的密封结构及 激光设备 技术领域 [0001]本实用新型涉及工件加工设备领域, 特别涉及一种激光光路的密封结构及激光设 备。 背景技术 [0002]激光切割技术是一种用于加工金属和非金属板材零件的加工手段; 激光切割设备 是一种高效、 低 成本的板材切割设备, 但在使用过程中, 自身会产生烟雾和粉尘, 或是周围 环境中存在的烟雾、 粉尘和切屑, 都会对激光切割设备的正常使用带来不利的影响; 轻者会 加大光路传输损耗、 降低激光切割的能力和效率; 重者会损毁光学镜片中的光学元件, 增加 维护修理费用, 造成设备停机损坏; 同时光泄会对 人体健康造成伤害, 因此对切割机进行密 封是非常重要的。 但现有技术中的密封结构一般采用普通金属 罩将整个光路结构盖住, 其 防尘效果 一般, 且容 易产生漏光, 整体密封性较差; 同时不方便调整和维护。 实用新型内容 [0003]本实用新型的主要 目的是提出一种激光光路的密封结构, 旨在一种防尘效果好、 密封效果 好和方便维护的激光 光路的密封结构。 [0004]为实现上述目的, 本实用新型提出的种激光 光路的密封结构, 包括: [0005]安装架, 顶部设置有安装板; 所述安装板的顶部设置有第一反射镜模块、 第二反射 镜模块, 所述安装架的一侧设置有飞行光路模块, 所述飞行光路模块位于所述安装板的下 方; [0006]激光发射模块, 设置于所述安装架的顶部, 并位于所述安装板的一侧; 所述激光发 射模块的输出端与所述第一反射镜模块的输入端相对; 所述第一反射镜模块和所述第二反 射镜模块用于改变所述激光反射模块的光束射向; 所述 飞行光路模块用于接收第二反射镜 模块反射的光束以射出; [0007]第一密封罩, 与所述安装板 的顶部可拆卸连接; 所述第一反射镜模块位于所述第 一密封罩内; 所述激光发射模块的光线从所述第一密封罩的一端射入所述第一密封罩内; [0008]第二密封罩, 与所述安装板 的顶部可拆卸连接, 所述第二反射镜模块位于第二密 封罩内; 所述第二反射镜模块的反射光线从所述第一密封罩的一侧射入所述第二密封罩 内; [0009]第一防护罩, 两端分别与所述第一密封罩和所述第二密封罩连接; [0010]第二防护罩, 两端分别连通所述第二反射镜模块和所述飞行光路模块连接 。 [0011]优选地, 所述第一密封罩和所述第二密封罩与所述安装板的连接处均设置有密封 条。 [0012]优选地, 所述第一防护罩和所述第二防护罩均为 风琴罩。 [0013]优选地, 所述第一密封罩上设置有第一通孔和第二通孔, 所述第一通孔与所述激 光发射模块的输出端相对, 所述第二通孔设置于靠近所述第二密封罩的一侧; 所述第一防说 明 书 1/5 页 3 CN 217096139 U 3

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