(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212343823 3.4 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 镇江哈工大高端 装备研究院 地址 212000 江苏省镇江市南 徐大道101号 (72)发明人 陈亮　刘淳　宋民静　高晓斌　 (74)专利代理 机构 北京哌智科创知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11745 专利代理师 何春阳 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) B23K 26/38(2014.01) B23K 37/047(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于晶圆激光切割的固定装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于晶圆激光切割 的固定装置， 属于固定装置技术领域， 通过将螺 杆贯穿固定孔将工型固定架组件固定在工作台 上， 可以试下便捷的固定和拆卸， 然后启动夹持 驱动组件带动旋转盘组件运动， 通过旋转盘组件 带动U型夹持座组件运动对晶圆进行夹持， 采用 此种驱动方式更加的便捷结构简单， 通过启动旋 转驱动组件带动中空仓进行旋转从而可实现对 晶圆水平方位进行旋转， 从而实现了良好的方位 调节的功能。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216576151 U 2022.05.24 CN 216576151 U 1.一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： 包括中空仓(1)， 所述中空仓(1)的 底部两侧设有L型侧底座(3)， 并在该L型侧底座(3)的内侧设有工型固定架组件， 且该工型 固定架组件的内底部设有旋转驱动组件， 所述旋转驱动组件的顶部与中空仓(1)的底中部 固定， 所述中空仓(1)的顶部沿所述中空仓(1)轴向上开设有水平条槽(6)， 所述水平条槽 (6)的顶部 设有可在所述中空仓(1)顶部滑动的U 型夹持座组件， 所述中空仓(1)的内底中部 设有夹持驱动组件， 该夹持驱动组件的输出端安装有旋转盘组件， 所述旋转盘组件与U型晶 圆固定侧夹持件(5)的底端部固定 。 2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： 所述工型固 定架组件包括工型架(2)、 旋转驱动槽(11)和固定孔(10)， 所述工型架(2)的内顶部开设有 旋转驱动槽(11)， 且 所述旋转 驱动槽(11)的内底部 设有旋转 驱动组件， 所述工型架(2)的两 端顶部位于L型侧底座(3)的内侧， 所述工型架(2)的底部 两侧开设有固定孔(10)。 3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： 旋转驱动组 件包括第二旋转电机(17)、 第二转轴(16)、 第二锥齿轮(15)、 第一锥齿轮(14)和支撑转杆 (18)， 所述旋转驱动槽(11)的内底部一侧安装有第二旋转电机(17 )， 所述第二旋转电机 (17)的输出端安装有第二转轴(16)， 所述第二转轴(16)的端部安装有第二锥齿轮(15)， 所 述旋转驱动槽(11)的内底中部通过轴承安装有支撑转杆(18)， 所述支撑转杆(18)的外侧套 设有第一锥齿轮(14)， 所述第一锥齿轮(14)与第二锥齿轮(15)之间相互啮合。 4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： U型夹持座 组件包括U型晶圆固定侧 夹持件(5)和气囊(13)， 所述中空仓(1)的顶部两侧设有可沿所述 水平条槽(6)轴向移动的U型晶圆固定侧 夹持件(5)， 所述U型晶圆固定侧 夹持件(5)的内壁 设有气囊(13)。 5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： 夹持驱动组 件包括第一转轴(9)和第一旋转电机(8)， 所述中空仓(1)的内底部安装有第一旋转电机 (8)， 所述第一旋转电机(8)的输出端安装有第一转轴(9)， 所述第一转轴(9)的外侧安装有 旋转盘组件。 6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆激光切割的固定装置， 其特征在于： 旋转盘组件 包括转盘(4)、 滑动杆(12)和铰接杆(7)， 所述第一转轴(9)的外侧中部安装有转盘(4)， 所述 转盘(4)的外侧顶部靠近边部处铰接有铰接杆(7)， 所述铰接杆(7)的另一端通过轴承安装 有滑动杆(12)， 所述滑动杆(12)的顶部安装有 U型晶圆固定侧夹持件(5)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216576151 U 2一种用于晶圆 激光切割的固定装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种固定装置， 特别是涉及一种用于 晶圆激光切割的固定装置， 属于固定装置技 术领域。 背景技术 [0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 由于其形状为圆形， 故称为晶圆； [0003]在硅晶片上 可加工制作成各种电路元件结构， 而成为有特定电性功能之IC产品。 [0004]晶圆的原始材料是硅， 而地壳表面有用之不竭的二氧化硅， 二氧化硅矿石经由电 弧炉提炼， 盐酸氯化， 并经蒸馏后， 制成了高纯度的多晶硅， 其纯度高达9 9.999999999％。 [0005]现有技术中的晶圆激光切割的固定装置在使用的时候其固定方式调节不够高效 便捷， 另外也无法进行旋转和组合使用， 为此设计一种用于晶圆激光切割的固定装置来解 决上述问题。 实用新型内容 [0006]本实用新型的主要目的是为了提供一种用于晶圆激光切割的固定装置， 通过将螺 杆贯穿固定孔将工型固定架组件固定在工作台上， 可以试下便捷的固定和拆卸， 然后启动 夹持驱动组件带动旋转盘组件运动， 通过旋转盘组件带动U型夹持座组件运动对晶圆进行 夹持， 采用此种驱动方式更加的便捷结构简单， 通过启动旋转驱动组件带动中空仓进行旋 转从而可实现对晶圆水平方位进行旋转， 从而实现了良好的方位调节的功能。 [0007]本实用新型的目的可以通过采用如下技 术方案达到： [0008]一种用于晶圆激光切割的固定装置， 包括中空仓， 所述中空仓的底部两侧设有L型 侧底座， 并在该L型侧底座的内侧设有工型固定架组件， 且该工型固定架组件的内底部 设有 旋转驱动组件， 所述旋转驱动组件的顶部与中空仓的底中部固定， 所述中空仓的顶部沿所 述中空仓轴向上开设有水平条槽， 所述水平条槽的顶部设有可在所述中空仓顶部滑动的U 型夹持座组件， 所述中空仓的内底中部设有夹持驱动组件， 该夹持驱动组件的输出端安装 有旋转盘组件， 所述旋转盘组件与U型晶圆固定侧夹持件的底端部固定 。 [0009]优选的， 所述工型固定架组件包括工型架、 旋转驱动槽和固定孔， 所述工型架的内 顶部开设有旋转驱动槽， 且所述旋转驱动槽的内底部设有旋转驱动组件， 所述工型架的两 端顶部位于L型侧底座的内侧， 所述工型架的底部 两侧开设有固定孔。 [0010]优选的， 旋转驱动组件包括第二旋转电机、 第二转轴、 第二锥齿轮、 第一锥齿轮和 支撑转杆， 所述旋转驱动槽的内底部一侧 安装有第二旋转电机， 所述第二旋转电机的输出 端安装有第二转轴， 所述第二转轴的端部安装有第二锥齿轮， 所述旋转驱动槽的内底中部 通过轴承安装有支撑转杆， 所述支撑转杆的外侧套设有第一锥齿轮， 所述第一锥齿轮与第 二锥齿轮之间相互啮合。 [0011]优选的， U型夹持座组件包括U型晶圆固定侧夹持件和气囊， 所述中空仓的顶部两 侧设有可沿所述水平条槽轴向移动的U 型晶圆固定侧夹持件， 所述U 型晶圆固定侧夹持件的说　明　书 1/3 页 3 CN 216576151 U 3