(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234048 80.3 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 杭州银湖激光科技有限公司 地址 311400 浙江省杭州市富阳区银湖街 道富闲路9 号银湖创新中心6号十三层 1317室 (72)发明人 蒋仕彬　 (74)专利代理 机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 3210 3 专利代理师 陶海锋 (51)Int.Cl. B23K 26/064(2014.01) B23K 26/08(2014.01) B23K 26/362(2014.01) B23K 26/402(2014.01)B23K 26/70(2014.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装 置 (57)摘要 本实用新型公开了一种碲化镉太阳能玻璃 材料的激光刻划装置， 包括玻璃输送机构和激光 加工装置， 其特征在于： 所述玻璃输送机构具有Y 方向的输送带， 碲化镉太阳能玻璃随输送带具有 Y方向的平移自由度； 所述激光加工装置具有安 装在X方向运动机构上的激光器、 振镜和场镜， 所 述振镜和场镜配合使激光束出射方向向上； 所述 激光加工装置布置在所述玻璃输送机构的下方， 玻璃输送机构 对应激光束出射位置设有窗口， 使 激光束可自下而上经过窗口照射到位于玻璃输 送机构上的玻璃上， X方向运动机构 的运动范围 覆盖整个玻璃输送机构的宽度。 本实用新型能快 速实现对碲化镉太阳能玻璃材 料的激光刻划。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 217019012 U 2022.07.22 CN 217019012 U 1.一种碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装置， 包括玻璃输送机构和激光加工装置， 其特征在于： 所述玻璃输送机构具有Y方向的输送带， 碲化镉太阳能玻璃随输送带具有Y方 向的平移自由度； 所述激光加工装置具有安装在X方向运动机构上 的激光器、 振镜和场镜， 所述振镜和场镜配合使激光束 出射方向向上； 所述激光加工装置布置在所述 玻璃输送机构 的下方， 玻璃输送机构对应激光束出射位置设有窗口， 使激光束可自下而上经过窗口照射 到位于玻璃输送机构上 的玻璃上， X方向运动机构的运动范围覆盖整个玻璃输送机构的宽 度。 2.根据权利要求1所述的碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装置， 其特征在于： 所述玻 璃输送机构包括进 料台、 激光加工区域和出料台， 在进 料台、 激光加工区域和出料台上分别 设有传送皮带， 其中， 激光加工区域的传送皮带分为两段， 两段之间的空间构成所述窗口。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217019012 U 2一种碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种太阳能薄膜材料的加工， 具体涉及 一种对碲化铬薄膜材料进 行激光刻划的装置 。 背景技术 [0002]碲化铬太阳能玻璃是在玻璃或基它柔性衬底上沉积多层薄膜而构成的光伏器件。 其一般由五层结构组成， 在玻璃衬底上依次设置透明导电氧化层 （TCO层， 厚度300nm至 400nm） 、 CdS窗口层 （n型半导体， 厚度30nm至150nm） 、 CdTe吸收层 （p型半层体， 厚度4微米至8 微米） 、 背接触层 （厚度0.2微米至0.8微米） 、 背电极。 在碲 化络太阳能玻璃制备工艺中， 当完 成背电极沉积和激光清边后， 在封装前， 为了满足玻璃透光要求， 需要进行刻划工序， 将镀 膜区域TCO层之外其 余膜层去除干净， 同时不影响封装后电池 模组的发光功能。 [0003]由于玻璃尺寸较大， 一般为1600mm ×1200mm×3.2mm， 激光刻划加工速度受到限 制。 要实现在线生产， 根据产线节拍需要达到3分钟每片甚至更快， 而离线模式下生产也应 当至少达 到10分种每片的速度。 这 就对激光刻划方法提出了挑战。 发明内容 [0004]本实用新型的发明目的是提供一种碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装置， 以满 足对刻划速度的要求。 [0005]为达到上述发明目的， 本实用新型采用的技 术方案是： [0006]一种碲化镉太阳能玻璃材料的激光刻划装置， 包括玻璃输送机构和激光加工装 置， 所述玻璃输送机构具有Y方向的输送带， 碲化镉太阳能玻璃随输送带具有Y方向的平移 自由度； 所述激光加工装置具有安装在X方向运动机构上 的激光器、 振镜和场镜， 所述振镜 和场镜配合使激光束出射方向向上； 所述激光加工装置布置在所述玻璃输送机构的下方， 玻璃输送机构对应激光束 出射位置 设有窗口， 使激光束可自下而 上经过窗口照射到位于玻 璃输送机构上的玻璃上， X 方向运动机构的运动范围覆盖整个玻璃输送机构的宽度。 [0007]上述技术方案中， 所述玻璃输送机构包括进料台、 激光加工区域和出料台， 在进料 台、 激光加工区域和出料台上分别设有传送皮带， 其中， 激光加工区域的传送皮带分为两 段， 两段之间的空间构成所述窗口。 [0008]由于上述 技术方案运用， 本实用新型与现有技 术相比具有下列优点： [0009]1、 本实用新型通过使激光器和玻璃沿互相垂直的两个方向运动， 方便地实现了玻 璃的分区遍历， 从而能快速实现对碲化镉太阳能玻璃材 料的激光刻划。 [0010]2、 本实用新型将激光器布置在玻璃输送机构下方， 激光自下而上出射， 结构容易 实现， 控制方便， 精度高。 [0011]3、 测试表明， 采用本实用新型的装置能够在344s完成整张玻璃的刻划， 能够满足 离线加工的要求， 而通过提高激光划线速度和电机运行速度， 也能满足在线加工的要求。说　明　书 1/2 页 3 CN 217019012 U 3