(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123294826.8 (22)申请日 2021.12.26 (73)专利权人 江苏清联光电技 术研究院有限公 司 地址 210000 江苏省南京市溧水区石湫 街 道石湫大道5号科创中心 (72)发明人 周明　杨名扬　冯世嘉　 (74)专利代理 机构 深圳市燊汇智诚专利代理事 务所(普通 合伙) 44725 专利代理师 潘聪聪 (51)Int.Cl. B23K 26/38(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 一种设置有皮秒 激光器的PLC晶圆激光切割 装置 (57)摘要 本实用新型提供一种设置有皮秒激光器的 PLC晶圆激光切割装置。 所述设置有皮秒激光器 的PLC晶圆激光切割装置包 括： 工作台， 所述工作 台的顶部固定安装有垂直型固定板， 所述垂直型 固定板的顶部固定安装有顶板， 所述顶板的顶部 放置有皮秒 激光器设备， 所述顶板上固定安装有 空心套筒， 所述空心套筒上设有调节机构， 所述 工作台上设有旋转机构。 本实用新型提供的设置 有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置具有使用 方便， 能够简单有效的在对PLC晶圆片切割的过 程中进行方位调节， 实现360度方向切割， 易于操 作的优点。 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 CN 216730115 U 2022.06.14 CN 216730115 U 1.一种设置有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置， 其特征在于， 包括： 工作台， 所述工 作台的顶部固定安装有垂直型固定板， 所述垂直型固定板的顶部固定安装有顶板， 所述顶 板的顶部放置有皮秒激光器设备， 所述顶板上固定安装有空心套筒， 所述空心套筒上设有 调节机构， 所述工作台上设有旋转机构； 所述调节机构包括有转动轴一， 所述转动轴一转动安装在空心套筒内， 所述转动轴一 的顶端延伸至空心套筒外， 所述空心套筒内转动安装有螺纹杆， 所述螺纹杆 的一端延伸至 空心套筒外， 所述转动轴一的底端固定安装有锥齿一， 所述螺纹杆上固定套设有锥齿二， 所 述锥齿二与锥齿一啮合， 所述螺纹杆上螺纹套设有内螺纹套筒， 所述内螺纹套筒的底部固 定安装有垂直型连接杆， 所述空心套筒远离垂直型固定板的一侧固定安装有方形连接条， 所述方形连接条上滑动套设有回型连接块， 所述垂 直型连接杆的底端与回型连接块固定连 接， 所述方 形连接条上固定安装有刻度尺， 所述回型 连接块的底部固定安装有激光切割头； 所述旋转机构包括有驱动电机， 所述驱动电机固定安装在工作台的顶部， 所述驱动电 机的输出轴 上固定安装有锥齿三， 所述工作台上转动安装有转动轴二， 所述转动轴二上固 定套设有锥齿四， 所述锥齿四与锥齿三啮合， 所述转动轴二的顶端固定安装有 液压缸， 所述 液压缸的输出轴上固定安装有方形连接板， 所述方形连接板上设有方形置放座， 所述转动 轴二的两侧均滑动安装有铰接块一， 所述铰接块一上铰接有铰接杆， 所述铰接杆远离铰接 块一的一端铰接有铰接块二， 所述铰接块二固定安装在方形连接板的底部， 所述方形置放 座上设有PLC晶圆片， 所述方 形置放座上设有拆卸机构。 2.根据权利要求1所述的设置有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置， 其特征在于， 所 述方形置放座的底部开设有方形凹槽， 所述方形凹槽与方形连接板相适配， 所述方形凹槽 内滑动安装有两个内嵌 式移动杆， 所述内嵌式移动杆靠近方形连接板的一端固定安装有梯 形夹块， 所述方形连接板的两侧均开设有梯形卡槽， 所述梯形卡槽与对应的梯形夹块相适 配， 所述方形凹槽的两侧内壁上均开设有圆形连接槽， 所述内嵌式移动杆远离梯形夹块的 一端延伸至圆形连接槽内并与圆形连接槽滑动连接， 所述圆形连接槽的底部内壁上开设有 方形通口， 所述方形通口内滑动安装有垂直型拉杆， 所述垂直型拉杆 的顶端与内嵌式移动 杆固定连接 。 3.根据权利要求2所述的设置有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置， 其特征在于， 所 述内嵌式移动杆上滑动套设有伸缩弹簧一， 所述伸缩弹簧一的一端与方形 凹槽的一侧内壁 固定连接， 所述伸缩弹簧一的另一端与梯形夹块固定连接， 所述方形通口的两侧内壁上固 定安装有同一个第一固定杆， 所述垂直型拉杆滑动套设在第一固定杆 上。 4.根据权利要求1所述的设置有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置， 其特征在于， 所 述转动轴二的两侧均开设有第一滑槽， 所述第一滑槽的顶部内壁和底部内壁上固定安装有 同一个第二固定杆， 所述铰接块一滑动套设在第二固定杆上， 所述第二固定杆上滑动套设 有伸缩弹簧二， 所述伸缩弹簧二的顶端与铰接块一固定连接， 所述伸缩弹簧二的底端与第 一滑槽的底部内壁固定连接 。 5.根据权利要求1所述的设置有皮秒激光器的PLC晶圆激光切割装置， 其特征在于， 所 述方形置放座上设有圆形置放槽， 所述圆形置放槽与PLC晶圆片相适配， 所述转动轴一的顶 端固定安装有第一 把手。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216730115 U 2一种设置有皮秒激光器的PL C晶圆激光切割装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于切割技术领域， 尤其涉及一种设置有皮秒激光器 的PLC晶圆激光 切割装置 。 背景技术 [0002]皮秒激光器是一款脉宽为皮秒的激光器， 具有皮秒级超短脉宽、 重复频率可调、 脉 冲能量高等特点， 在生物医学、 光学参量振荡、 生物显微成像等领域有着越来越广泛的应 用， 逐渐成为现代生物成像和分析系统中日益重要的工具； [0003]相关技术中， 公开了应用于P LC晶圆激光切割装置及带有该装置的皮秒激光器， 涉 及激光加工应用领域， 该装置包括用于射出激光的激光器， 激光器一端设置有用于接 收激 光的第一45 °镜， 第一45 °镜一侧设置有接收激光的变频晶体， 变频晶体远离所示第一45 °镜 的一侧设置有高反镜， 高反镜将激光反射至第一45 °镜， 激光器远离所述第一45 °镜的一侧 设置有角锥， 角锥与所述激光晶体之间设置有调Q， 第一45 °镜远离所述高反镜的一侧设置 有分光系统， 分光系统的一侧设置有凸透镜， 具有激光器射出的激光能量较低， 经折射后存 储在调Q中， 能量足够后再射出并穿透第一 45°镜， 进行切割， 降低了 激光器功率的要求； [0004]相关技术中， 公开了一种晶圆片激光切割装置， 包括底板， 所述底板上垂直固定连 接有连接柱， 所述连接柱上垂直固定连接有连接板， 所述连接板上通过轴承转动连接有转 轴， 所述底板上开设有放置腔， 所述放置腔呈圆形， 所述放置腔与所述转轴同心设置， 所述 转轴下端垂直固定连接有螺纹杆， 所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹套， 所述螺纹套上设置有 限位机构， 所述限位机构上固定连接有激光切割头， 所述螺纹杆上固定连接有转盘， 具有便 于切割出不同直径晶圆片的特点。 [0005]但是， 上述结构中还存在不足之处， 由于上述结构中在对PLC晶圆片切割的过程中 只能采用左右切割， 更改方位切割时， 采用手动翻转PLC晶圆片方位 容易出现偏差 。 [0006]因此， 有必要提供一种新的设置有皮秒激光器 的PLC晶圆激光切割装置解决上述 技术问题。 实用新型内容 [0007]本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便， 能够简单有效的在对PLC晶圆 片切割的过程中进行方位调节， 实现360度方向切割， 易于操作的设置有皮秒激光器的PLC 晶圆激光切割装置 。 [0008]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的设置有皮秒激光器 的PLC晶圆激光切割 装置包括： 工作台， 所述工作台的顶部固定安装有垂 直型固定板， 所述垂直型固定板的顶部 固定安装有顶板， 所述顶板的顶部放置有皮秒激光器设备， 所述顶板上固定安装有空心套 筒， 所述空心套 筒上设有调节机构， 所述工作台上设有旋转机构； [0009]所述调节机构包括有转动轴一， 所述转动轴一转动安装在空心套筒内， 所述转动 轴一的顶端延伸至空心套筒外， 所述空心套筒内转动安装有螺纹杆， 所述螺纹杆的一端延说　明　书 1/5 页 3 CN 216730115 U 3