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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211316648.0 (22)申请日 2022.10.26 (71)申请人 北京芯可鉴科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区双营西路79号 院中科云谷园1 1号楼一层 申请人 北京智芯微电子科技有限公司 (72)发明人 赵东艳 梁英宗 陈燕宁 邵瑾  邓永峰 王立城 付振 刘芳  (74)专利代理 机构 北京润平知识产权代理有限 公司 11283 专利代理师 乔晓粉 (51)Int.Cl. G06F 16/16(2019.01) G06F 16/14(2019.01) G06F 16/248(2019.01)G06F 16/26(2019.01) G06F 9/451(2018.01) (54)发明名称 远程可视化系统与远程可视化方法 (57)摘要 本发明涉及芯片领域, 公开一种远程可视化 系统与远程可视化方法。 所述远程可视化系统包 括: 文件夹服务器, 用于存储来自多个测试机台 的多个生产数据组; 远程可视化装置, 用于执行 以下操作: 从所述文件夹服务器中提取与用户的 查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生 产数据组; 对所述特定生产数据组进行处理, 以 生成统计过程控制图; 以及生 成链接至所述统计 过程控制图的跳转对象。 本发明响应于用户请求 可自动生 成链接至统计过程控制图的跳转对象, 从而在保证数据安全的情况下用户可通过该跳 转对象对生产数据进行实时查询与在线分析, 即, 可实现生产数据的远程可视化。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 115374066 A 2022.11.22 CN 115374066 A 1.一种远程可视化系统, 其特 征在于, 所述远程可视化系统包括: 文件夹服 务器, 用于存 储来自多个测试机台的多个生产数据组; 远程可视化装置, 用于执 行以下操作: 从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生 产数据组; 对所述特定生产数据组进行处 理, 以生成统计过程控制图; 以及 生成链接 至所述统计过程控制图的跳转对象。 2.根据权利要求1所述的远程可视化系统, 其特 征在于, 所述跳转对象包括网页链接, 相应地, 所述 生成链接 至所述统计过程控制图的跳转对象包括: 生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址; 以及 通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接 。 3.根据权利要求2所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述网页链接的有 效期为预设 时间。 4.根据权利 要求2所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述发布工具为visdom可视化 工具。 5.根据权利要求1 ‑4中任一项所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述远程可视化系 统还包括: 数据库服 务器, 用于存 储所述多个生产数据组在所述文件夹服 务器中的地址信息, 相应地, 所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机 台的特定生产数据组包括: 响应于所述用户的查询 请求, 从所述数据库服务器中提取所述特定生产 数据组在所述 文件夹服 务器中的地址信息; 以及 基于所提取的地址信息, 从所述文件夹服 务器中提取 所述特定生产数据组。 6.根据权利要求5所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述数据库服务器为关系型数 据库或非关系型 数据库。 7.根据权利要求5所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述远程可视化装置还用于执 行以下操作: 将所述跳转对象反馈 至所述用户; 以及 将所述用户的查询请求存 储到所述数据库服 务器中。 8.根据权利要求1所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述文件夹服务器为FTP服务 器。 9.根据权利要求1所述的远程可视化系统, 其特征在于, 所述生产 数据组包括多片晶圆 的晶圆接受测试 数据、 晶圆测试 数据和/或最终测试 数据。 10.根据权利要求1所述的远程可视化系统, 其特 征在于, 所述远程可视化系统还 包括: 权限验证装置, 用于执 行以下操作: 响应于所述用户的查询请求, 对所述用户的访问权限进行验证; 以及 在所述用户的访问权限通过验证的情况下, 将所述用户的查询请求转发至所述远程可 视化装置 。 11.一种远程可视化方法, 其特 征在于, 所述远程可视化方法包括:权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115374066 A 2通过文件夹服 务器存储来自多个测试机台的多个生产数据组; 从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生 产数据组; 对所述特定生产数据组进行处 理, 以生成统计过程控制图; 以及 生成链接 至所述统计过程控制图的跳转对象。 12.根据权利要求11所述的远程可视化方法, 其特征在于, 所述跳转对象包括网页链 接, 相应地, 所述 生成链接 至所述统计过程控制图的跳转对象包括: 生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址; 以及 通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接 。 13.根据权利要求12所述的远程可视化方法, 其特征在于, 所述网页链接的有效期为预 设时间。 14.根据权利要求11所述的远程可视化方法, 其特征在于, 所述远程可视化方法还包 括: 通过数据库服 务器存储所述多个生产数据组在所述文件夹服 务器中的地址信息, 相应地, 所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机 台的特定生产数据组包括: 响应于所述用户的查询 请求, 从所述数据库服务器中提取所述特定生产 数据组在所述 文件夹服 务器中的地址信息; 以及 基于所提取的地址信息, 从所述文件夹服 务器中提取 所述特定生产数据组。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115374066 A 3

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