(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222171562.5 (22)申请日 2022.08.17 (73)专利权人 苏州珮凯科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区光福镇 光电路20号7号厂房 (72)发明人 范银波　 (74)专利代理 机构 南京文宸知识产权代理有限 公司 325 00 专利代理师 徐晗 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆清洗用的喷射机构 (57)摘要 本实用新型提供一种晶圆清洗用的喷射机 构， 涉及喷射机构技术领域， 包括安装架， 安装架 的一侧通过调节板设有清洗机构， 清洗机构包括 冲洗外壳和洗刷辊， 冲洗外壳呈弧形结构， 洗刷 辊转动设置在冲洗外壳内部， 洗刷辊的两端与冲 洗外壳的两端转动连接， 洗刷辊的一端通过电机 驱动， 冲洗外壳的内壁通过调节机构设有挤水 夹， 挤水夹的外壁与洗刷辊的外壁接触设置， 冲 洗外壳内部设有喷管， 喷管的下方连通设有喷 头， 喷头的下方贯穿冲洗外壳的下方并延伸在 外， 喷管的一端通过软管与外部清洗液或清水连 通设置。 本实用新型通过调节板带动清洁机构在 晶圆表面进行反复冲洗， 配合洗刷辊的转动和冲 洗外壳内喷头的冲洗， 较大提高了对晶圆的冲洗 质量。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 218123363 U 2022.12.23 CN 218123363 U 1.一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于， 包括安装架(1)， 所述安装架(1)的一侧通 过调节板(2)设有清洗机构， 所述清洗机构包括冲洗外壳(3)和洗刷辊(4)， 所述冲洗外壳 (3)呈弧形结构， 所述洗刷辊(4)转动设置在所述冲洗外壳(3)内部， 所述洗刷辊(4)的两端 与所述冲洗外壳(3)的两端转动连接， 所述洗刷辊(4)的一端通过电机驱动， 所述冲洗外壳 (3)的内壁通过调节机构设有挤水夹(5)， 所述挤水夹(5)的外壁与所述洗刷辊(4)的外壁接 触设置， 所述冲洗外壳(3)内部 设有喷管(6)， 所述喷管(6)的下方连通设有喷头(7)， 所述喷 头(7)的下方贯穿所述冲洗外壳(3)的下方并延伸在外， 所述喷管(6)的一端通过软管(8)与 外部清洗液或清水 连通设置 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述挤水夹(5)设 有两个且对称设置在所述冲洗外壳(3)的下方， 所述挤水夹(5)的内壁与所述洗刷辊(4)的 侧壁滑动适配。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述调节机构包括 连接杆(9)、 伸缩 杆(10)和第一气缸(11)， 所述连接杆(9)垂直设置在所述挤水夹(5)的外侧 上， 所述连接杆(9)的上端滑动贯穿所述冲洗外壳(3)内部下方并延伸至所述冲洗外壳(3) 的内部， 所述伸缩杆(10)的一端铰接设置在所述连接杆(9)的上端， 两个所述挤水夹(5)上 的连接杆(9)和伸缩 杆(10)对称设置， 两个所述伸缩 杆(10)的上端与所述冲洗外壳(3)的内 壁上方铰接设置， 所述第一气缸(1 1)的两端分别铰接设置在两个所述伸缩杆(10)之间。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述连接杆(9)设 有多个， 多个所述连接杆(9)的上端设有横杆(12)， 所述伸缩 杆(10)的一端与所述横杆(12) 的中心位置处铰接 设置， 所述冲洗外壳(3)的下方设有与所述连接杆(9)滑动适配的 限位槽 (13)， 所述连接杆(9)的上端滑动贯 穿所述限位槽(13)并延伸至所述冲洗 外壳(3)的内部 。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述调节板(2)设 有两个， 两个所述调节板(2)之间设有第二气缸(14)。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述喷管(6)设有 两个且对称设置在所述冲洗外壳(3)两侧内部的下方， 两个所述 喷管(6)相互连通， 所述软 管(8)的一端贯穿所述冲洗外壳(3)并与所述喷管(6)连通设置， 所述喷头(7)的下端与晶圆 表面互不接触。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构， 其特征在于： 所述洗刷 辊(4)的 表面设有洗刷毛团(15)， 所述洗刷毛团(15)设有 多个且均匀分布在所述洗刷辊(4)的表面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218123363 U 2一种晶圆清洗用的喷射 机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及喷射机构技 术领域， 尤其涉及一种晶圆清洗用的喷射机构。 背景技术 [0002]晶圆清洗， 将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中， 由于与各种有机物、 粒 子及金属接触而产生的污染物 清除的工艺， 是晶圆制造过程中的一个重要工艺 步骤。 [0003]但是现有技术中， 晶圆清洗在清洗时通常将晶圆放置在用于清洗的容纳盒内的限 位托盘上， 通过限位托盘转动带动晶圆转动， 从而便于对晶圆清洗时能达到全方位清洁， 而 冲洗时则使用喷管进行冲洗， 且通常喷管为固定结构， 仅通过晶圆的自转让喷管喷出 的清 洗液分布在晶圆表面上， 但将晶圆直径较大时， 则固定设置的喷管则不能均匀 地对晶圆表 面进行冲洗， 从而降低了对晶圆表面的清洗质量。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在一般喷管清洗机构不能很好地对 晶圆表面进行均匀清洗问题。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 一种晶圆清洗用的喷射机 构， 包括安装架， 所述安装架的一侧通过调节板设有清洗机构， 所述清洗机构包括冲洗外壳 和洗刷辊， 所述冲洗外壳呈弧形结构， 所述洗刷辊转动设置在所述冲洗外壳内部， 所述洗刷 辊的两端与所述冲洗外壳的两端转动连接， 所述洗刷辊的一端通过电机驱动， 所述冲洗外 壳的内壁通过调节机构设有挤水夹， 所述挤水夹的外壁与所述洗刷辊的外壁接触设置， 所 述冲洗外壳内部设有喷管， 所述喷管 的下方连通设有喷头， 所述喷头的下方贯穿所述冲洗 外壳的下 方并延伸在外， 所述喷管的一端通过 软管与外部清洗液或清水 连通设置 。 [0006]作为一种优选的实施方式， 所述挤水夹设有两个且对称设置在所述冲洗外壳的下 方， 所述挤水夹的内壁与所述洗刷辊的侧壁滑动适配。 [0007]作为一种优选的实施方式， 所述调节机构包括连接杆、 伸缩杆和第一气缸， 所述连 接杆垂直设置在所述挤水夹的外侧上， 所述连接杆的上端滑动贯穿所述冲洗外壳内部下方 并延伸至所述冲洗外壳的内部， 所述伸缩杆 的一端铰接设置在所述连接杆的上端， 两个所 述挤水夹上的连接杆和伸缩杆对称设置， 两个所述伸缩杆的上端与所述冲洗外壳的内壁上 方铰接设置， 所述第一气缸的两端分别铰接设置在两个所述伸缩杆之间。 [0008]作为一种优选 的实施方式， 所述连接杆设有多个， 多个所述连接杆的上端设有横 杆， 所述伸缩杆的一端与所述横杆的中心位置处铰接设置， 所述冲洗外壳的下方设有与所 述连接杆滑动适配的限位槽， 所述连接杆的上端滑动贯穿所述限位槽并延伸至所述冲洗外 壳的内部 。 [0009]作为一种优选 的实施方式， 所述调节板设有两个， 两个所述调节板之间设有第二 气缸。 [0010]作为一种优选的实施方式， 所述喷管设有两个且对称设置在所述冲洗外壳两侧内说　明　书 1/4 页 3 CN 218123363 U 3