(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222172187.6 (22)申请日 2022.08.17 (73)专利权人 苏州珮凯科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区光福镇 光电路20号7号厂房 (72)发明人 范银波　 (74)专利代理 机构 南京文宸知识产权代理有限 公司 325 00 专利代理师 徐晗 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆清洗设备中的定位机构 (57)摘要 本实用新型提供一种晶圆清洗设备中的定 位机构， 涉及半导体器件技术领域， 包括： 清洁仓 与托盘， 清洁仓外表面的一侧固定安装有多个固 定轴， 清洁仓外表面的一侧开设有滑槽， 滑槽的 内壁滑动嵌设有滑块， 清洁仓外表 面的一侧固定 安装有限位板， 滑块外表面的一端固定安装有 连 接柱， 连接柱的内部固定嵌设有固定杆， 固定杆 外表面的两端均活动连接有直角板。 通过下压安 置块使得滑柱沿着限位套内壁的竖直放下向下 移动， 从而带动直角板的一端下移， 另一端上升， 将加持的夹持板打开， 当托盘放在 清洁仓的底部 后， 安置块往上移动， 在弹簧本身的弹力下将直 角板复位， 进而夹持， 避免产生放置位置非中心 处， 晶圆两侧收到清洁压力不同， 可能导致晶圆 受损的问题。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 218108663 U 2022.12.23 CN 218108663 U 1.一种晶圆清洗设备中的定位机构， 包括： 清洁仓(1)与托盘(2)， 其特征在于： 所述清 洁仓(1)外表面的一侧固定安装有多个固定轴(3)， 所述清洁仓(1)外表面的一侧开设有滑 槽(4)， 所述滑槽(4)的内壁滑动嵌设有滑块(401)， 所述清洁仓(1)外表面的一侧固定安装 有限位板(802)， 所述滑块(401)外表面的一端固定安装有连接柱(6)， 所述连接柱(6)的内 部固定嵌设有固定杆(7)， 所述固定杆(7)外表 面的两端均活动连接有直角板(301)， 多个所 述直角板(301)均活动套设在固定轴(3)的外表面， 多个所述直角板(301)外表面的一侧均 固定安装有夹持板(3 02)， 所述连接柱(6)外表面的一侧固定连接有滑 柱(8)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备中的定位机构， 其特征在于： 所述滑柱(8) 的外表面活动套设有限位套(801)， 所述限位套(801)固定安装在限位板(802)外表面的一 侧， 所述限位套(801)外表 面的一侧固定安装有弹簧(803)， 所述弹簧(803)固定安装在滑柱 (8)外表面的顶端， 所述滑 柱(8)外表面的顶端活动连接有安置块(5)。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备中的定位机构， 其特征在于： 所述安置块 (5)的内部活动嵌设有 按钮(501)， 所述按 钮(501)外表面的底部固定连接有 齿条(502)。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备中的定位机构， 其特征在于： 所述齿条 (502)外表面的两侧均啮合连接有齿轮(503)， 多个所述齿轮(503)外表面的一端均固定连 接有连接杆(504)， 所述齿条(502)滑动 连接在安置块(5)的内壁， 所述齿轮(503)活动连接 在安置块(5)的内壁， 所述连接杆(5 04)活动连接在安置块(5)的内部 。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗设备中的定位机构， 其特征在于： 多个所述连接 杆(504)的外表面均固定连接有夹环(505)， 多个所述夹环(505)外表面的一端均活动连接 有扣槽(202)。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗设备中的定位机构， 其特征在于： 所述扣槽 (202)开设在托盘(2)外表面的两侧， 所述 托盘(2)外表面的一侧开设有凹槽(201)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218108663 U 2一种晶圆清洗设 备中的定位机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体器件技术领域， 尤其涉及一种晶圆清洗设备中的定位机 构。 背景技术 [0002]晶圆作为半导体元器件以及芯片的制 作材料， 由于电子元器件与芯片本身要求精 密度极高， 清洁必然成为最重要的环节之一， 目前 晶圆的清洗方式主要包括通过将多个晶 圆放置在清洁剂溶液内， 通过两侧的超声波清洁装置波动清洁剂对晶圆表面清洁， 或者通 过一定的压力水枪将清洁液从侧面喷射进行清洁。 [0003]但是现有技术中， 无论是哪种清洁方式， 都需要保证晶圆两侧受到 的振波或水枪 压力相同， 但传统清洁设备中往往通过机械臂将多个晶圆放置在清洁溶液后， 直接开启清 洁装置进行清洁， 无法将晶圆定位放置在两侧清洁装置的中间处， 从而保证两侧压力相同 避免造成晶圆表面损伤。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的无法将晶圆定位放置在两侧清 洁装置中间处的问题。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 一种晶圆清洗设备中的定 位机构， 包括： 清洁仓与托盘， 所述清洁仓外表面的一侧固定安装有多个固定轴， 所述清洁 仓外表面的一侧 开设有滑槽， 所述滑槽的内壁滑动 嵌设有滑块， 所述清洁仓外表面的一侧 固定安装有限位板， 所述滑块外表面的一端固定安装有连接柱， 所述连接柱的内部固定嵌 设有固定杆， 所述固定杆外表面的两端均 活动连接有直角板， 多个所述直角板均 活动套设 在固定轴的外表面， 多个所述直角板外表面的一侧均固定安装有夹持板， 所述连接柱外表 面的一侧固定连接有滑 柱。 [0006]作为一种优选 的实施方式， 所述滑柱的外表面活动套设有限位套， 所述限位套固 定安装在限位板外表面的一侧， 所述限位套外表面的一侧固定安装有弹簧， 所述弹簧固定 安装在滑 柱外表面的顶端， 所述滑 柱外表面的顶端活动连接有安置块。 [0007]采用上述进一步方案的技术效果是： 限位板的固定使得滑柱可以沿着弹簧上下滑 动。 [0008]作为一种优选 的实施方式， 所述安置块的内部活动嵌设有按钮， 所述按钮外表面 的底部固定连接有 齿条。 [0009]采用上述进一步方案 的技术效果是： 托盘 的两个开设有扣槽， 通过按钮的按压使 得齿条相啮合的齿轮转动， 由于齿轮以及连接杆均转动连接在安置块的内壁， 从而使得两 个齿轮以相反的方向转动， 从而实现开合和夹持， 从而可以使得夹环外表面的一端卡在扣 槽的内部， 方便 夹持。 [0010]作为一种优选 的实施方式， 所述齿条外表面的两侧均啮合连接有齿轮， 多个所述说　明　书 1/4 页 3 CN 218108663 U 3