ICS31.200 L55 中华人民共和国国家标准 GB/T26113—2010 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则 Micro-electromechanicalsystemtechnology— Generalrulesfortheassessmentofmicro-geometricalparameters 2011-01-10发布 2011-10-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。本标准主要起草人:丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。 ⅠGB/T26113—2010

GB-T 26113-2010 微机电系统 MEMS 技术微几何量评定总则

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