ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T28159—2011 电 子级磷酸 Electronicgradephosphoricacid 2011-12-30发布 2012-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 产品分类 1 ………………………………………………………………………………………………… 4 要求 1 ……………………………………………………………………………………………………… 5 试验方法 2 ………………………………………………………………………………………………… 5.1 安全提示 2 …………………………………………………………………………………………… 5.2 一般规定 3 …………………………………………………………………………………………… 5.3 外观 3 ………………………………………………………………………………………………… 5.4 磷酸含量 3 …………………………………………………………………………………………… 5.5 易氧化物含量 3 ……………………………………………………………………………………… 5.6 金属离子含量 4 ……………………………………………………………………………………… 5.7 阴离子含量 5 ………………………………………………………………………………………… 5.8 颗粒测定 9 …………………………………………………………………………………………… 6 检验规则 9 ………………………………………………………………………………………………… 6.1 组批与抽样 9 ………………………………………………………………………………………… 6.2 检验项目 9 …………………………………………………………………………………………… 7 标志、标签 9 ………………………………………………………………………………………………… 8 包装、运输、贮存、操作 9 …………………………………………………………………………………… 附录A(资料性附录) 仪器工作条件 11 …………………………………………………………………… 附录B(资料性附录) 离子色谱图 13 ……………………………………………………………………… ⅠGB/T28159—2011 前 言 本标准是根据GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会(TC203)提出并归口。 本标准负责起草单位:四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴 发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司。 本标准主要起草人:李全东、肖遥、王文武、戈士勇、何珂、李少平、钟尉、尤家栋、刘兵。 ⅢGB/T28159—2011 电子级磷酸 1 范围 本标准规定了电子级磷酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于电子工业用磷酸。 本标准不涉及使用安全性问题,本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的 限制。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T1282—1996 化学试剂 磷酸 GB3149—2004 食品添加剂 磷酸 GB/T6678 化工产品采样总则 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范 3 产品分类 标准规定的电子级磷酸分为两种规格:E1为普通电子级磷酸,E2为高纯电子级磷酸。 4 要求 4.1 外观:无色、无臭、黏稠状液体。 4.2 电子级磷酸应符合表1要求。 表1 要求 项 目指 标 E1 E2 磷酸(H3PO4)质量分数(85%)/(%) 85~87 85~87 易氧化物(以H3PO3计)质量分数/% ≤ 0.005 0.001 硝酸盐(NO- 3)质量分数/(mg/kg) ≤ 5 0.5 1GB/T28159—2011