ICS 81.040.30 CCS Q 35 JC 中华人民共和国建材行业标准 JC/T2392.3—2023 石英玻璃 第3部分：等离子化学气相沉积法 Silica glass ingot Part 3:Chemical vapor deposition method with plasma flame 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部‧发布 JC/T 2392.3—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件是JC/T2392《石英玻璃锭》的第3部分。JC/T2392已经发布了以下部分： 第1部分：气炼熔融法； 第2部分：氢氧焰化学气相沉积法； 第3部分：等离子化学气相沉积法； 第4部分：等离子体熔融法。 本文件由中国建筑材料联合会提出。 本文件由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本文件起草单位：中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、中 建材衢州金格兰石英有限公司。 本文件主要起草人：杜秀蓉、孙元成、宋学富、张晓强、杨学东、杨晓会、王京侠、花宁。 JC/T 2392.3—2023 石英玻璃锭第3部分：等离子化学气相沉积法 1 范围 本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、 运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的 石英玻璃锭。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T12442—2019石英玻璃中羟基含量检验方法 JC/T2205石英玻璃术语 3术语和定义 JC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。 3.1 高温荷载变形率 high temperature deformation ratio under loading 特定温度、时间和荷载下，材料变形后的垂度与跨度之比。 4分级 4.1按外观质量分为二级，即A1级、A2级 4.2按等径度分为三级，即D1级、D2级、D3级。 4.3按紫外光谱透射比分为三级，即Tvl级、Tuy2级、Tuw3级。 4.4按红外光谱透射比分为三级，即Tir1级、Tir2级、Tir3级。 4.5按杂质元素含量分为三级，即P1级、P2级、P3级。 4.6按羟基含量分为三级，即H1级、H2级、H3级。 5 要求 5.1外观质量 外观质量气泡、杂质点、色点应符合表1的要求。