ICS 77. 150. 99 YS CCS H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1616—2023 氧化钢锌靶材 Indium-zinc oxide target 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部‧发布 YS/T1616—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、宁夏中色新材料有限公司、北京航空材料 研究院股份有限公司、宁夏东方业股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、芜湖映日科技股份 有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、江苏莱希海姆科技有限公司。 本文件主要起草人：左宁伟、征卫星、马肖、孙洪涛、王东新、葛春桥、李正飞、张红梅、孟将、方熙成、 曾墩风、唐安泰、罗岑瑜。 YS/T1616—2023 氧化铟锌靶材 1范围 本文件规定了氧化铟锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和 订货单内容。 本文件适用于以氧化钢粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化铟锌靶材。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T351金属材料电阻系数测量方法 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4技术要求 4.1化学成分 4.1.1 产品的主要成分质量百分比为In2O3：ZnO=90：10，偏差为士0.5。 4.1.2 2产品的杂质成分应符合表1的规定。需方如对产品的化学成分有特殊要求，由供需双方商定。 表1杂质成分 质量分数/% 杂质含量，不大于 Fe Al IS Ca Mg Cu Pb Ni PO 0.0025 0.0010 0. 0025 0. 0015 0. 0005 0. 0005 0. 0005 0.0005 0.0005 4.2物理性能 4.2.1 密度应不小于6.85g/cm²。 4.2.2电阻率应不大于5.0×10-32·cm。 4.3形状和尺寸 产品形状呈平面状或管状，其尺寸及偏差由供需双方商定。 1