ICS 77. 150. 40 YS CCS H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1635—2023 镍铬合金靶材 Nichrome target 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T1635—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：南京达迈科技实业股份有限公司、江苏海泰新材料科技有限公司、南京欧美达应用 材料科技有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司。 本文件主要起草人：吴宇宁、钟成铭、王雷、周其刚、徐海斌、卿海标、姚力军、曹欢欢、廖培君、边逸军、 陈玉蓉、徐国进、高岩、张博厚。 YS/T1635—2023 镍铬合金靶材 1范围 本文件规定了镀膜用镍铬合金靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于纯度大于99.5%的低辐射玻璃（loW-e玻璃）及薄膜电阻镀膜用镍铬合金靶材（以下简 称“靶材”)。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本 文件。 GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T 1804 一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T1958 产品几何技术规范（GPS)几何公差检测与验证 GB/T3505 产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数 GB/T4162 锻轧钢棒超声检测方法 GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T8647（所有部分）镍化学分析方法 GB/T10610产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法 评定表面结构的规则和方法 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分材料，不包括背板材料。 注：该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。 4分类和标记 4.1分类 4.1.1靶材按溅射面的形状，可分为平面靶和管靶（又称旋转靶）。其中，常用的平面靶包括矩形平面靶 和圆形平面靶，形状示意图见图1。 1