书
书
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71
.
040
.
10
犖
60
中华人民共和国国家标准
犌犅
/
犜
13979
—
2008
代替
GB
/
T13979
—
1992
质谱检漏仪
犕犪狊狊狊狆犲犮狋狉狅犿犲狋犲狉犾犲犪犽犱犲狋犲犮狋狅狉
2008
07
28
发布
2009
02
01
实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会
发布书
书
书目
次
前言
Ⅰ
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
1
范围
1
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
2
规范性引用文件
1
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
3
要求
1
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
4
试验方法
2
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
5
检验规则
4
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
6
标志
、
包装
、
运输
、
贮存
5
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
7
质量保证
6
/G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21 /G21
犌犅
/
犜
13979
—
2008
前
言
本标准代替
GB
/
T13979
—
1992
《
氦质谱检漏仪
》。
与
GB
/
T13979
—
1992
相比较
,
本标准的主要变化如下
:
———
标准名称
“
氦质谱检漏仪
”
更改为
“
质谱检漏仪
”;
———
增加了前言
;
———
修改了
“
正常工作条件
”
中的
“
大气压力
”;
———
细分了绝缘电阻指标
;
———
提高了绝缘强度指标
;
———
补充了用分子泵的质谱检漏仪达到最佳工作压力的时间
。
本标准由中国机械工业联合会提出
。
本标准由全国工业过程测量和控制标准化技术委员会分析仪器分技术委员会
(
SAC
/
TC124
)
归口
。
本标准起草单位
:
成都仪器厂
、
北京中科科仪技术发展有限责任公司
、
中国航天科技集团公司第五
研究院总装与环境工程部
、
北京分析仪器研究所
。
本标准主要起草人
:
鞠世春
、
余永惠
、
李智
、
闫荣鑫
、
张函迅
。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为
:
———
GB
/
T13979
—
1992
。
Ⅰ
犌犅
/
犜
13979
—
2008
质谱检漏仪
1
范围
本标准规定了质谱检漏仪
(
以下简称检漏仪
)
的要求
、
试验方法
、
检验规则
、
标志
、
包装
、
运输
、
贮存
、
质量保证等
。
本标准适用于以质谱分析法作为检测手段的检漏仪
。
2
规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款
。
凡是注日期的引用文件
,
其随后所有
的修改单
(
不包括勘误的内容
)
或修订版均不适用于本标准
,
然而
,
鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本
。
凡是不注日期的引用文件
,
其最新版本适用于本标准
。
GB
/
T191
—
2008
包装储运图示标志
(
ISO780
:
1997
,
MOD
)
GB
/
T2829
—
2002
周期检验计数抽样程序及表
(
适用于对过程稳定性的检验
)
GB4793.1
—
2007
测量
、
控制和实验室用电气设备的安全要求
第
1
部分
:
通用要求
(
IEC610101
:
2001
,
IDT
)
GB
/
T11606
—
2007
分析仪器环境试验方法
GB
/
T15464
—
1995
仪器仪表包装通用技术条件
3
要求
3
.
1
正常工作条件
检漏仪工作条件应满足
:
a
)
温度
:
5℃
~
35℃
;
b
)
相对湿度
:
≤
80%
;
c
)
供电电源
:
电压
(
380±38
)
V
或
(
220±22
)
V
;
频率
(
50±0.5
)
Hz
;
d
)
大气压力
:
86kPa
~
106kPa
;
e
)
附近无强电磁场
,
无剧烈震动
,
无腐蚀性气体
。
3
.
2
外观
检漏仪的外观应满足
:
a
)
表面涂覆层应色泽均匀平整
,
无明显损伤
、
尖角
、
斑痕
、
脱落
、
起泡
、
龟裂和锈蚀
;
b
)
检漏仪上的开关
、
旋钮和调节机构应安装牢固
、
操作灵活
。
3
.
3
安全要求
检漏仪应满足安全要求如下
:
a
)
绝缘电阻
在正常工作条件下
,
检漏仪的绝缘电阻应大于
20M
Ω
。
b
)
绝缘强度
在正常工作条件下
,
检漏仪应能承受
1500V
交流有效值连续
1min
的电压试验
,
不应出现飞
弧和击穿现象
。
c
)
泄漏电流
在正常工作条件下
,
检漏仪的泄漏电流应不大于
3.5mA
。
1
犌犅
/
犜
13979
—
2008
3
.
4
检漏仪的错
、
缺相保护功能
使用三相电源的检漏仪应当有错
、
缺相保护功能
。
3
.
5
检漏仪漏率显示系统误差
检漏仪漏率显示系统的误差应不超过
±5%
。
3
.
6
检漏仪漏率音响报警功能
检漏仪应有被检工件漏率音响报警功能
。
3
.
7
检漏仪测试口压力测量和控制电路
带有粗抽泵的检漏仪
,
在检漏口应当有压力指示仪表
,
压力指示仪表误差应符合制造厂标准
,
并应
具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动
(
或手动
)
切换到检漏的功能
。
3
.
8
检漏仪质谱室灯丝保护电路
检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表和质谱室灯丝保护电路
,
其参数范
围应符合制造厂的规定
。
3
.
9
达到检漏仪最佳工作压力的时间
3
.
9
.
1
使用油扩散泵的检漏仪
,
其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间
:
a
)
加液氮的检漏仪应不大于
0.5h
;
b
)
不加液氮的检漏仪应不大于
2h
。
3
.
9
.
2
使用分子泵的检漏仪
,
其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间应不大
于
10min
。
3
.
10
检漏仪的最小可检漏率
用常规检漏方式的检漏仪在全抽速条件下
,
检漏仪的最小可检漏率应不大于
2×10
-11
Pa
·
m
3
·
s
-1
(
对空气
);
用逆扩散检漏方式的检漏仪
,
检漏仪的最小可检漏率应不大于
2×10
-10
Pa
·
m
3
·
s
-1
(
对空气
)。
3
GB-T 13979-2008 质谱检漏仪
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