书
书
书犐犆犛
77
.
040
犎
25
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A
犌犅
/
犜
14142
—
2017
/G21 /G22
GB
/
T14142
—
1993
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D
/G2E /G2F /G2D
犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮狉狔狊狋犪犾犾狅犵狉犪狆犺犻犮狆犲狉犳犲犮狋犻狅狀狅犳犲狆犻狋犪狓犻犪犾犾犪狔犲狉狊犻狀狊犻犾犻犮狅狀
—
犈狋犮犺犻狀犵狋犲犮犺狀犻狇狌犲
2017
09
29
/G30 /G31
2018
04
01
/G32 /G33
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33
/G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39
/G30 /G31书
书
书/G21
/G22
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25
GB
/
T1.1
—
2009
/G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C
。
/G21 /G22 /G23 /G2D /G2E
GB
/
T14142
—
1993
《
/G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B
/G3C /G3D /G3B
》。
/G21 /G22 /G23 /G3E
GB
/
T14142
—
1993
/G3F /G40
,
/G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48
:
———
/G49 /G4A /G4B /G3A /G3B /G4C /G42
(
/G4D /G4E
4
/G4F
,
1993
/G50 /G51 /G4E
2
/G4F
);
———
/G52 /G53 /G4B /G54 /G55 /G56 /G57
(
/G4D /G4E
5
/G4F
);
———
/G52 /G53 /G4B /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G3C /G3D /G3A /G3B
(
/G4D
5.2
、
6.13
、
9.2.2
)。
/G21 /G22 /G23 /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 /G34 /G63 /G64 /G65 /G66 /G67 /G22 /G23 /G46 /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A
(
SAC
/
TC203
)
/G3E /G5F /G60 /G61 /G62 /G34 /G63 /G64 /G65 /G66 /G67 /G22 /G23
/G46 /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A /G66 /G67 /G6B /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A
(
SAC
/
TC203
/
SC2
)
/G6C /G6D /G4C /G27 /G6E /G6F /G70
。
/G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G71 /G72
:
/G73 /G74 /G60 /G75 /G76 /G77 /G78 /G79 /G7A /G7B
、
/G78 /G7C /G61 /G62 /G34 /G66 /G67 /G78 /G79 /G7A /G7B
、
/G7D /G7E /G7F /G80 /G81 /G82 /G43 /G83 /G84 /G78 /G79
/G7A /G7B
。
/G21 /G22 /G23 /G41 /G42 /G2B /G2C /G85
:
/G86 /G87 /G88
、
/G89 /G8A
、
/G8B /G8C
、
/G8D /G8E /G8F
、
/G90 /G91
、
/G92 /G93 /G94
。
/G21 /G22 /G23 /G95 /G2D /G2E /G22 /G23 /G28 /G96 /G97 /G51 /G21 /G98 /G99 /G9A /G9B /G9C
:
———
GB
/
T14142
—
1993
。
Ⅰ
犌犅
/
犜
14142
—
2017
/G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F
/G30 /G31 /G2F
1
/G32 /G33
/G21 /G22 /G23 /G29 /G9D /G4B /G9E /G46 /G9F /G3C /G3D /GA0 /GA1
,
/G6E /G9E /G7F /G3F /GA0 /GA2 /GA3 /G38 /G39 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G28 /G3A /G3B
。
/G21 /G22 /G23 /GA4 /G9E /GA5 /G2F /G30 /G31 /G32 /GA6 /GA7 /GA8 /G32 /GA9 /G65 /G72 /GA9 /GAA /GAB /G28 /G38 /G39
,
/G2F /G30 /G31 /G32 /GAC /GAB /GAD /GA5
2
μ
m
,
/GAE /GAF /GAA /GAB /G28 /GB0 /GB1
/GB2 /GB3
0
~
10000cm
-2
。
2
/G34 /G32 /G2B /G35 /G36 /G37 /G38
/G48 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GA5 /G21 /GB5 /GB6 /G28 /GB8 /G9E /GB9 /GBA /GBB /GBC /GBD /G28
。
/GBE /GB9 /GBF /GC0 /GC1 /G28 /GC2 /G9E /GB5 /GB6
,
/GC3 /GBF /GC0 /GC1 /G28 /G51 /G21 /GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5
/GB6
。
/GBE /GB9 /GBB /GBF /GC0 /GC1 /G28 /GC2 /G9E /GB5 /GB6
,
/G5D /GC4 /GC5 /G51 /G21
(
/GC6 /GC7 /G95 /G78 /G28 /G49 /GC8 /G71
)
/GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5 /GB6
。
GB
/
T14264
/G61 /G62 /G34 /G66 /G67 /G44 /GC9
GB
/
T30453
/G2F /G66 /G67 /GCA /GCB /GAE /GAF /GCC /GCD
3
/G39 /G3A /G3B /G3C /G3D
GB
/
T14264
/G65
GB
/
T30453
/GCE /G9D /G28 /G44 /GC9 /G65 /G9D /GCF /GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5 /GB6
。
4
/G2E /G2F /G3E /G3F
/G9E /G59 /GD0
、
/GD1 /GD2 /GD0 /GD3 /GD4 /G5B /GD5 /GD1 /GD2 /GD0
、
/GD6 /GD0
、
/GD7 /GD0
、
/GD6 /GD0 /GD8 /G28 /GD3 /GD4 /G5A /G5B /G3C /G3D /GB1 /GD9
,
/G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /GAE /GAF /GDA /GDB
/GDC /G3C /G3D
。
/G9E /GA0 /GA2 /GA3 /GDD /GDE /GB1 /GD9 /G3C /G3D /GDF /GE0
,
/GBC /GDD /GDE /GE1 /GAE /GAF /GE2 /GE3 /G6E /GB7 /GAE /GAF /GE4 /GE5
。
5
/G40 /G41 /G42 /G43
5
.
1
/G3C /G3D /G5B /GE6 /GE7 /GE8 /GE9 /GEA /GEB
,
/G78 /GEC /G98
、
/GED /GEE /GEF /GF0 /GF1 /G27 /GF0
,
/GF2 /GF3 /G3C /G3D /GF4 /GF5
。
5
.
2
/GBB /G6D /G3C /G3D /G5B
(
/G78 /G59
、
/G58 /G59
)
/G28 /GF6 /GF7
,
/GBC /GF8 /G6A /GF9 /GFA /GFB /G6B /G2F /G30 /G31 /GFC /G28 /G3C /G3D /GF4 /GF5 /GBB /G6D
。
5
.
3
/G3C /G3D /GE8 /GE9 /GEA /GFD
,
/G47 /GF5 /GAE /GAF /GE2 /GE3 /GBB /GFE /GA0
,
/GD5 /GFF /G27 /GF0 /G3D
/G21
,
/G2A /G3C /G3D /GE8 /GE9 /GB8 /G53 /GEB
,
/G6D /GE8
/G22 /G23
/G2F /G30 /G31 /G32 /GAC /GAB
。
5
.
4
/G3C /G3D /GE8 /GE9 /GEA /GEB
,
/G3C /G3D
GB-T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
文档预览
中文文档
7 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示:本文档共7页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2025-07-12 17:37:33上传分享