书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ 犆犆犛犎 ２１ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １４１４６ — ２０２１ 代替 犌犅 ／ 犜 １４１４６ — ２００９ 硅外延层载流子浓度的测试电容  电压法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮犪狉狉犻犲狉犮狅狀犮犲狀狋狉犪狋犻狅狀狅犳狊犻犾犻犮狅狀犲狆犻狋犪狓犻犪犾犾犪狔犲狉狊 — 犆犪狆犪犮犻狋犪狀犮犲狏狅犾狋犪犵犲犿犲狋犺狅犱 ２０２１  ０５  ２１ 发布 ２０２１  １２  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２０２０ 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 　 /G2D １ /G2E /G2F ： /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G21 /G22 /G23 /G38 /G39 ＧＢ ／ Ｔ１４１４６ — ２００９ 《 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /G37 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 — /G47 /G49 /G4A 》， /G4B ＧＢ ／ Ｔ１４１４６ — ２００９ /G4C /G4D ， /G4E /G31 /G32 /G4F /G50 /G33 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G3B ， /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G28 /G5B /G5C ： ａ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G21 /G22 /G23 /G30 /G5F /G60 ， /G61 /G62 /G36 /G37 /G30 /G63 /G48 /G33 /G64 /G65 /G5F /G60 （ /G66 /G2D １ /G67 ， ２００９ /G68 /G69 /G30 /G2D １ /G67 ）； ｂ ） 　 /G6A /G4E /G5E /G36 /G5F /G53 /G6B /G65 /G22 /G23 /G6C /G30 ＧＢ ／ Ｔ１５５２ ， /G6D /G6E /G5E ＧＢ ／ Ｔ１５５１ 、 ＧＢ ／ Ｔ６６２４ 、 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ （ /G66 /G2D ２ /G67 ， ２００９ /G68 /G69 /G30 /G2D ２ /G67 ）； ｃ ） 　 /G6D /G6E /G5E /G59 /G6F /G33 /G37 /G70 （ /G66 /G2D ３ /G67 ）； ｄ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G71 /G72 /G73 /G23 /G30 /G57 /G74 （ /G66 /G2D ４ /G67 ， ２００９ /G68 /G69 /G30 ６．２ ）； ｅ ） 　 /G6A /G4E /G5E /G44 /G45 /G46 /G47 /G48  /G47 /G49 /G4A /G75 /G76 /G6C /G30 /G77 /G78 ， /G5D /G54 /G5E /G75 /G76 /G30 /G79 /G7A （ /G66 ５．１ ， ２００９ /G68 /G69 /G30 /G2D ３ /G67 ）； ｆ ） 　 /G6D /G6E /G5E /G7B /G7C /G7D /G7E 、 /G43 /G71 /G7F /G80 /G81 /G2A 、 /G43 /G71 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G30 /G44 /G45 /G46 /G4F /G71 /G87 /G43 /G71 /G31 /G88 /G89 /G8A /G30 /G8B /G8C /G8D /G8E （ /G66 ５．２．１ ）； ｇ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G7B /G7C /G79 /G8F 、 /G44 、 /G90 /G44 /G91 /G92 /G93 /G87 /G43 /G71 /G31 /G88 /G30 /G89 /G8A （ /G66 ５．２．２ 、 ５．２．３ 、 ５．２．４ ， ２００９ /G68 /G69 /G30 ４．１ ）； ｈ ） 　 /G6D /G6E /G5E /G94 /G37 /G95 /G96 /G47 /G48 /G65 /G26 /G27 /G7B /G97 /G98 /G42 /G87 /G43 /G71 /G31 /G88 /G30 /G89 /G8A （ /G66 ５．２．７ ）； ｉ ） 　 /G6D /G6E /G5E /G95 /G96 /G47 /G48 /G99 /G9A /G4F /G50 /G9B /G9C /G9D /G94 /G37 、 /G47 /G48 /G43 /G9E /G47 /G9F /GA0 /GA1 /G47 /GA2 、 /GA3 /G27 /G7F /G80 /G65 /GA4 /G9E /GA5 /GA6 /G97 /G87 /G43 /G71 /G31 /G88 /G30 /G89 /G8A （ /G66 ５．２．８ 、 ５．２．９ 、 ５．２．１０ ）； ｊ ） 　 /G5D /G54 /G5E “ /G71 /GA7 ” /G6C /GA8 /GA9 /G40 /GAA 、 /GAB /GAC /G30 /G57 /G74 （ /G66 ５．３．４ 、 ５．３．５ ， ２００９ /G68 /G69 /G30 ５．３ 、 ５．５ ）； ｋ ） 　 /G6D /G6E /G5E “ /G71 /GA7 ” /G6C /G49 /GAD /GAE /GAC /G30 /G57 /G74 （ /G66 ５．３．６ ）； ｌ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G47 /G48 /G7F /G30 /G57 /G74 ［ /G66 ５．４．１ｃ ）， ２００９ /G68 /G69 /G30 ６．１．２ 、 ６．１．３ ］； ｍ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G44 /G45 /G46 /G47 /G48  /G47 /G49 /G43 /G71 /G7F /G80 /G6C /G9C /GAF /GB0 /GB1 /GB2 /G30 /G57 /G74 ［ /G66 ５．４．１ｄ ）， ２００９ /G68 /G69 /G30 ６．１．３ ］； ｎ ） 　 /G6D /G6E /G5E /GB3 /G8B /GB4 /G7E 、 /GB5 /G8B /GB4 /G7E 、 /GB6 /GB7 /GB5 /GB8 /GB9 /G30 /G57 /G74 （ /G66 ５．４．２ 、 ５．４．３ 、 ５．４．４ ）； ｏ ） 　 /G6D /G6E /G5E /G7B /G7C /GBA /G76 /G86 /G79 /G8F /GBB /GBC /GBD /GBE /GBF /GC0 /GC1 /G30 /G57 /G74 （ /G66 ５．５．１ ）， /G5D /G54 /G5E /G7B /G7C /G30 /G28 /GC2 /G71 /GA7 /GBA /G76 /GC3 /GC4 （ /G66 ５．５．２ ， ２００９ /G68 /G69 /G30 ７．１ ～ ７．４ ）， /G6D /G6E /G5E /GC5 /G65 /GC6 /GC7 /GC8 /G53 /GC9 /G4A /G87 /G7B /G7C /GCA /GCB /GCC /G28 /GBA /G76 /G30 /GC3 /GC4 （ /G66 ５．５．３ ）； ｐ ） 　 /G6A /G4E /G5E “ /G7F /G80 /GA3 /G27 ” /G6C /GCD /G47 /GA2 /G47 /GCE /G30 /G7D /G7E （ /G66 ２００９ /G68 /G69 /G30 ８．４ ），“ /G71 /G72 /GC3 /GC4 ” /G6C /G6D /G6E /G5E /G87 /GBD /G63 /G48 （ /G66 ５．７．２ ）； ｑ ） 　 /G6D /G6E /G5E “ /G71 /G72 /G9C /GCF /GBA /G76 ”（ /G66 ５．８ ）； ｒ ） 　 /G5D /G54 /G5E “ /GD0 /GB6 /G42 ”（ /G66 ５．９ ）； ｓ ） 　 /G6D /G6E /G5E /GD1 /GD2 /GD3 /G47 /G48  /G47 /G49 /G4A /G43 /G71 /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G30 /GC9 /G4A （ /G66 /G2D ６ /G67 ）； ｔ ） 　 /G5D /G54 /G5E /G71 /G72 /GD4 /GD5 /G30 /G63 /G48 （ /G66 /G2D ７ /G67 ， ２００９ /G68 /G69 /G30 /G2D １１ /G67 ）。 /GD6 /GD7 /GD8 /G21 /G22 /G23 /G30 /GD9 /GDA /G63 /G48 /GDB /GDC /GDD /GDE /GDF /GE0 。 /G21 /G22 /G23 /G30 /GE1 /GE2 /G82 /G32 /GE3 /GE4 /GE5 /GE6 /GE7 /GDF