书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ 犆犆犛犎 ２１ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １５５１ — ２０２１ 代替 犌犅 ／ 犜 １５５１ — ２００９ 硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狔狅犳犿狅狀狅犮狉狔狊狋犪犾狊犻犾犻犮狅狀 — 犐狀犾犻狀犲犳狅狌狉狆狅犻狀狋狆狉狅犫犲犪狀犱犱犻狉犲犮狋犮狌狉狉犲狀狋狋狑狅狆狅犻狀狋狆狉狅犫犲犿犲狋犺狅犱 ２０２１  ０５  ２１ 发布 ２０２１  １２  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２０２０ 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 　 /G2D １ /G2E /G2F ： /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G21 /G22 /G23 /G38 /G39 ＧＢ ／ Ｔ１５５１ — ２００９ 《 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G37 /G41 /G42 》， /G43 ＧＢ ／ Ｔ１５５１ — ２００９ /G44 /G45 ， /G46 /G31 /G32 /G47 /G48 /G33 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E ， /G4F /G50 /G51 /G52 /G53 /G28 /G54 /G55 ： ａ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G30 /G5D /G5E /G5F /G60 （ /G61 /G2D １ /G62 ， ２００９ /G63 /G64 /G30 /G2D １ /G62 ）； ｂ ） 　 “ /G5F /G60 ” /G65 /G66 /G67 /G57 “ /G3A /G3B /G3C /G68 /G69 /G5F /G60 /G3D /G3E /G3F /G30 /G40 /G6A /G6B /G6C /G25 /G21 /G22 /G23 /G6D /G6E ”（ /G61 /G2D １ /G62 ）； ｃ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G36 /G5F /G4B /G6F /G5E /G22 /G23 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ （ /G61 /G2D ２ /G62 ）； ｄ ） 　 /G66 /G67 /G57 “ /G52 /G70 /G33 /G37 /G71 ”（ /G61 /G2D ３ /G62 ）； ｅ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G40 /G6A /G72 /G73 /G74 /G75 /G30 /G50 /G76 （ /G61 /G2D ４ /G62 ， ２００９ /G63 /G64 /G30 /G2D ２ /G62 、 /G2D １３ /G62 ）； ｆ ） 　 /G56 /G4C /G57 “ /G77 /G78 /G79 /G7A ” /G65 /G7B /G25 /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G30 /G7E /G7F （ /G61 ５．１ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ３．１ 、 １４．１ ）； ｇ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G80 /G81 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G87 /G88 /G7E /G7F /G30 /G77 /G78 /G79 /G7A （ /G61 ５．３ ）； ｈ ） 　 /G56 /G4C /G57 “ /G77 /G78 /G79 /G7A ” /G65 /G74 /G75 /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G30 /G7E /G7F （ /G61 ５．４ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ３．４ 、 １４．４ ）； ｉ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G5B /G5C /G89 /G4D 、 /G5B /G5C /G8A /G8B /G8C /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G7E /G7F /G30 /G77 /G78 /G79 /G7A （ /G61 ５．５ 、 ５．６ ）； ｊ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G40 /G6A /G8D /G8E /G8F /G90 /G91 、 /G5B /G5C /G43 /G8E /G8F /G92 /G93 /G30 /G94 /G95 /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G7E /G7F /G30 /G77 /G78 /G79 /G7A ［ /G61 ５．７ａ ）、 ５．７ｃ ）］； ｋ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G58 /G83 /G96 /G5B /G5C /G42 /G40 /G6A /G8D /G8E /G8F /G3D /G3E /G3F /G97 /G98 /G99 、 /G9A /G9B /G9C /G9D /G9E /G9F /GA0 /G68 /G69 /GA1 /GA2 /GA3 /GA4 、 /G2B /G3D /G8B /G8C /G97 /GA5 /GA6 /G7C /G40 /G6A /G31 /G7D /G7E /G7F /G30 /G77 /G78 /G79 /G7A （ /G61 ５．８ ）； ｌ ） 　 /GA7 /G46 /G57 /G58 /G83 /G96 /G5B /G5C /G42 /G40 /G6A /G77 /G78 /G79 /G7A /G65 /G5B /G5C /GA8 /GA9 /G30 /GAA /GAB （ /G61 ２００９ /G63 /G64 /G30 １４．６ ）； ｍ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G30 /G40 /G6A /GAC /GAD （ /G61 ６．１ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 /G2D ４ /G62 ）； ｎ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 “ /G6A /GAE /G33 /GAF /GB0 ”（ /G61 ６．２ ）； ｏ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /G7C /G5C /GB1 /GB2 /GB3 /G33 /GB4 /GB5 /G26 /GB6 /GB7 /GB8 /G30 /G50 /G76 ［ /G61 ６．３．１ａ ）， ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．１．１ ］； ｐ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /G26 /G27 /G3D /G3E /G30 /G50 /G76 ［ /G61 ６．３．２ｃ ）、 ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．２．４ ］； ｑ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /GB9 /G91 /GBA /G30 /G50 /G76 （ /G61 ６．３．４ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．４ ）； ｒ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /GBB /G8E /GBC /G95 /G30 /G50 /G76 （ /G61 ６．３．５ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．５ ）； ｓ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /GBD /G75 /G40 /G6A /GBE /G30 /G50 /G76 （ /G61 ６．３．６ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．６ ）； ｔ ） 　 /GA7 /G46 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /GBF /GC0 /GC1 /GC2 /GC3 /GBA 、 /G28 /GC4 /GC5 /GC6 /GC7 /GBA /G87 /G30 /G50 /G76 （ /G61 ２００９ /G63 /G64 /G30 ５．１３ 、 ５．１４ ）； ｕ ） 　 /G56 /G4C /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G42 /G65 /G8E /G8F /GC8 /GC9 /GCA /GAD /G30 /GCB /GCC （ /G61 ６．４．１ ， ２００９ /G63 /G64 /G30 ６．１ ）； ｖ ） 　 /G66 /G67 /G57 /G3D /G3E /G3F /GCD /GCE ３０００ Ω · ｃｍ /G8E /G8F /G7C /GCF /G30 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 /G8E /G8F /G40 /G6A /G3D /G83 /GD4 （ /G61 /GC8 ２ ， ２００９ /G63 /G64