书
书
书犐犆犛
77
.
040
犎
17
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A
犌犅
/
犜
1557
—
2018
/G21 /G22
GB
/
T1557
—
2006
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G29 /G30 /G31
犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犲狋犲狉犿犻狀犻狀犵犻狀狋犲狉狊狋犻狋犻犪犾狅狓狔犵犲狀犮狅狀狋犲狀狋犻狀狊犻犾犻犮狅狀犫狔犻狀犳狉犪狉犲犱犪犫狊狅狉狆狋犻狅狀
2018
09
17
/G32 /G33
2019
06
01
/G34 /G35
/G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32
/G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36
/G32 /G33书
书
书/G21
/G22
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25
GB
/
T1.1
—
2009
/G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C
。
/G21 /G22 /G23 /G2D /G2E
GB
/
T1557
—
2006
《
/G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G28 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G37 /G3D /G3E
》,
/G3F
GB
/
T1557
—
2006
/G40 /G41
,
/G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G39 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F
:
———
/G50 /G51 /G32 /G52 /G53 /G54
“
/G55 /G56 /G57 /G38 /G39 /G58 /G59 /G3C /G5A /G5B
,
/G35 /G36 /G37
(
/G5C /G5D /G5E
)
/G28 /G3C /G5A /G50 /G51 /G5F
0.5×10
15
cm
-3
/G60 /G2F /G32
/G33 /G34 /G35 /G28 /G61 /G62 /G63 /G64 /G65
”(
/G66 /G67
1
/G68
)。
———
/G69 /G29 /G50 /G45 /G6A /G6B /G6C /G6D /G32 /G52 /G53 /G54
GB
/
T4059
、
GB
/
T4060
、
GB
/
T29057
、
GB
/
T35306
(
/G66 /G67
2
/G68
)。
———
/G69 /G3D /G3E /G6E /G49 /G32 /G52 /G53 /G54 /G56 /G57 /G38 /G39 /G6F /G70 /G71 /G28 /G3C /G5A /G5C /G72
,
/G73 /G74 /G75
“
/G56 /G57 /G76 /G77 /G78 /G4C /G79 /G38 /G39 /G6F /G70 /G71 /G3C /G5A /G2F
/G7A /G30 /G32 /G35 /G36 /G37 /G28 /G7B /G31 /G7C /G7D /G66
GB
/
T35306
”(
/G66 /G67
4
/G68
)。
———
/G69 /G7E /G7F /G80 /G81 /G32 /G52 /G53 /G54 /G82 /G30
、
/G3C /G5A /G83 /G84
、
/G85 /G86 /G87 /G88
、
/G3C /G5A /G58 /G59 /G89 /G3C /G5A /G8A /G8B /G28 /G8C /G8D
(
/G66
5.1
、
5.8
、
5.9
、
5.10
)。
———
/G8E /G8F /G42 /G90 /G41 /G6F /G70 /G91 /G85 /G86 /G28 /G92 /G93 /G6F /G70 /G69
1600cm
-1
/G94 /G28 /G92 /G93 /G95 /G96
“
100%±0.5%
”
/G47 /G97
“
100%±5%
”(
/G66
5.4
,
2006
/G98 /G99
5.3
)。
———
/G9A /G42 /G54 /G9B /G9C /G35 /G9D /G65 /G9E /G9F /G5B
,
1230cm
-1
/G94 /G28 /G3A /G3B /G70 /GA0 /G89 /G3C /G5A /G8A /G8B /G28 /G8C /G8D
(
/G66
2006
/G98 /G99
5.5
)。
———
/G8E
“
6.3
/GA1 /GA2 /GA3
”
/G46 /G47 /G97
“
6.3
/GA4 /G65 /G3C /G37 /G58 /G59
”,
/G46 /G47 /G58 /G59 /GA5 /G65 /G62 /GA6
0.01mm
(
/G66
6.3
,
2006
/G98 /G99
6.3
)。
———
/G8E
“
6.4
/GA7 /GA8 /GA9
/GAA /GAB /GAC
”
/G46 /G47 /G97
“
6.4
/G57 /G65 /G3C /G37 /G58 /G59
/GA7 /GA8 /GA9
/GAA /GAB /GAC /GAD /GAE /GAF /GB0 /G6B /GA6 /G3C /G5A /G85 /G86
/GB1 /G57 /G65 /G28 /G58 /G59
”(
/G66
6.4
,
2006
/G98 /G99
6.4
)。
———
/G52 /G53
“
6.5
/GB2 /G65 /G3C /G5A /G58 /G59
/GB2 /G65 /GAC /GAD /GAE /GAF /GB0 /G6B /GA6 /G3C /G5A /G83 /G84 /GB2 /G65 /G28 /G58 /G59
”(
/G66
6.5
)。
———
/G8E /G58 /G59 /GB3 /GB4 /G32 /G28 /GB5 /G6F /GB6 /GA4 /G65 /G96
0.065cm
/G47 /G97
0.085cm
(
/G66
8.2.5
,
2006
/G98 /G99
8.2.5
)。
———
/G8E
“
/GB7 /GB8 /G94 /G72
”
/G46 /G47 /G97
“
/G69 /G3C /G5A /GB9 /GBA
,
/GBB /GBC /GBD /G85 /G86 /GB7 /GB8 /GBE /G35 /G4D /GBF
”,
/G9A /G42 /G54
“
/G6B
HF
/GC0 /GC1 /GC2 /G42 /GB7 /GB8
/G28 /G35 /G4D /GBF
”(
/G66
8.3
,
2006
/G98 /G99
8.3
)。
———
/G8E
“
/GA4 /G65 /G3C /G37
”
/G46 /G47 /G97
“
/G3C /G37 /GC3 /G3C /G85 /G86 /GC4 /G90 /G41 /G85 /G86 /G28 /GA4 /G65
。
/GC5 /GC6 /G32 /GC7 /G28 /GA4 /G65 /GC8 /GBB /GC9 /GA6
±0.5%
”
(
/G66
8.4
,
2006
/G98 /G99
8.4
)。
———
/G8E /GCA /GCB /G92 /G93 /G70 /GCC /GCD /G97 /GCE /GCF /G45 /GD0 /GD1
(
/G66 /GD0 /GD1
A
,
2006
/G98 /G99
8.7
)。
———
/GD2 /GD3 /G5A /GD4 /GD5 /GD6
,
/G46 /G47 /G54 /GA5 /GD7 /G65
(
/G66 /G67
10
/G68
,
2006
/G98 /G99 /G67
11
/G68
)。
/G21 /G22 /G23 /G96 /GD8 /GD9 /GDA /GDB /G31 /G58 /G59 /GC4 /GDC /GCF /G22 /G23 /G4D /G4A /G4B /GDD /GDE /GDF
(
SAC
/
TC203
)
/G3F /GD8 /GD9 /GDA /GDB /G31 /G58 /G59 /GC4 /GDC /GCF /G22 /G23
/G4D /G4A /G4B /GDD /GDE /GDF /GDC /GCF /GA2 /GDF
(
SAC
/
TC203
/
SC2
)
/GE0 /GE1 /G6E /G27 /G73 /GE2 /GE3
。
/G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G7A /G87
:
/GE4 /GE5 /GE6 /GE7 /GE8 /GE9 /GEA /GEB /GEC /GED
、
/GEA /GEE /GDA /GDB /G31 /GDC /GCF /GEA /GEB /GEC /GED
、
/GEF /GF0 /G2F /GF1
(
/GF2 /GF3
)
/GEA /GEB /GEC /GED
、
/GF4
/GF5 /GF6
GB-T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
文档预览
中文文档
10 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示:本文档共10页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2025-07-12 19:44:23上传分享