书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ 犎 １７ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３９１４５ — ２０２０ 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犲犮狅狀狋犲狀狋狅犳狊狌狉犳犪犮犲犿犲狋犪犾犲犾犲犿犲狀狋狊狅狀狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊 — 犐狀犱狌犮狋犻狏犲犾狔犮狅狌狆犾犲犱狆犾犪狊犿犪犿犪狊狊狊狆犲犮狋狉狅犿犲狋狉狔 ２０２０  １０  １１ 发布 ２０２１  ０９  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3E /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G36 /G37 /G3F /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ／ ＳＣ２ ） /G40 /G41 /G42 /G27 /G43 /G44 /G45 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G46 /G47 ： /G48 /G49 /G2F /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G4D /G51 /G30 /G31 /G32 /G36 /G37 /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G52 /G53 /G54 /G55 /G56 /G57 /G39 /G58 /G59 /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G36 /G37 /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G4D /G5F /G54 /G60 /G39 /G3A /G61 /G62 /G51 /G63 /G64 、 /G65 /G66 /G67 /G68 /G69 /G4B /G4C /G39 /G3A /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G6A /G6B /G30 /G31 /G32 /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G6C /G6D /G57 /G6E /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F /G50 。 /G21 /G22 /G23 /G6F /G70 /G2B /G2C /G71 ： /G72 /G73 、 /G74 /G75 /G76 、 /G77 /G78 /G79 、 /G7A /G7B 、 /G7C /G5B /G7D 、 /G7E /G7F /G67 、 /G80 /G4C /G68 、 /G81 /G54 /G82 、 /G83 /G84 /G85 、 /G86 /G87 /G88 、 /G83 /G89 /G8A 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３９１４５ — ２０２０ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A １ 　 /G3B /G3C /G21 /G22 /G23 /G29 /G8B /G8C /G4B /G8D /G8E /G5C /G8F /G90 /G4C /G32 /G91 /G92 /G93 /G94 /G8B /G5E /G95 /G96 /G97 /G54 /G60 /G98 /G84 /G99 /G9A /G28 /G9B /G93 。 /G21 /G22 /G23 /G9C /G9D /G9E /G5E /G46 /G5D /G9F /GA0 /G95 /G35 /G5E /GA1 /GA2 /G95 /G96 /G97 /GA3 /G9A /G54 /G60 /GA4 、 /GA5 、 /GA6 、 /GA7 、 /GA8 、 /GA9 、 /GAA 、 /GAB 、 /GAC 、 /GAD 、 /GAE 、 /GAF /G98 /G84 /G99 /G9A /G28 /G94 /G8B ， /G94 /G8B /GB0 /GB1 /GB2 １０ ８ ｃｍ －２ ～ １０ １３ ｃｍ －２ 。 /G21 /G22 /G23 /G41 /GB3 /GB4 /G9C /G9D /G9E /G5E /GB5 /GB6 /G95 、 /G5E /GB7 /GB8 /G95 /G8F /G65 /GB9 /GBA /G5E /G95 /G96 /G97 /GA3 /G9A /G54 /G60 /G98 /G84 /G99 /G9A /G28 /G94 /G8B 。 /G3D ： /G5E /G95 /G96 /G97 /G28 /G54 /G60 /G98 /G84 /G99 /G9A /GBB /GBC /GBD /G9B /GBE /GBF /G28 /GC0 /G4C /GC1 /GC2 。 ２ 　 /G3E /G3B /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /GC3 /GC4 /G75 /GC5 /GC6 /G9E /G21 /G75 /GC5 /G28 /GC7 /G9D /GC8 /GC9 /GCA /GCB /GCC /G28 。 /GCD /GC8 /GCE /GCF /GD0 /G28 /GD1 /G9D /G75 /GC5 ， /GD2 /GCE /GCF /GD0 /G28 /GD3 /G21 /G9C /G9D /G9E /G21 /G75 /GC5 。 /GCD /GC8 /GCA /GCE /GCF /GD0 /G28 /GD1 /G9D /G75 /GC5 ， /GD4 /GD5 /G7F /GD3 /G21 （ /GD6 /GD7 /GD8 /G4D /G28 /GD9 /GDA /G46 ） /G9C /G9D /G9E /G21 /G75 /GC5 。 ＧＢ ／ Ｔ６６２４ 　 /G5E /G9F /GA0 /G95 /G96 /G97 /G91 /G9A /GDB /G94 /GDC /GDD /G9B /G93 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ 　 /G30 /G31 /G32 /G36 /G37 /G3A /GDE ＧＢ ／ Ｔ１７４３３ 　 /GDF /G54 /GE0 /GE1 /G38 /GE2 /G3F /GE3 /GE4 /GE5 /G3A /GDE ＧＢ ／ Ｔ１９９２１ 　 /G5E /G9F /GA0 /G95 /G96 /G97 /GE6 /GE7 /G94 /GE8 /G9B /G93 ＧＢ ／ Ｔ２５９１５．１ — ２０１０ 　 /GE9 /GEA /GEB /GEC /GED /GEE /GEF /GF0 /GF1 /GF2 　 /GF3 １ /GF4 /G3F ： /GF5 /GF6 /GE9 /GEA /GF7 /G8F /GF8 ＧＢ ／ Ｔ３７８３７ 　 /GF9 /GF8 /GFA /G4B /G8D /G8E /G5C /G8F /G90 /G4C /G32 /G91 /G92 /G9B /G93 /GFB /G2A ＪＪＦ１１５９ 　 /GF9 /GF8 /GFA /G4B /G8D /G8E /G5C /G8F /G90 /G4C /G32 /G91 /G92 /GFC /GFD /G23 /G29 /GB0 ＳＥＭＩＦ６３ 　 /G30 /G31 /G32 /GFE /GFF /G9D /G21 /G22 /G23 /G24 /G48 （ Ｇｕｉｄｅｆｏｒｕｌｔｒａｐｕｒｅｗａｔｅｒｕｓｅｄｉｎｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｐｒｏｃｅｓｓ ｉｎｇ ） ３ 　 /G44 /G45 /G46 /G2F /G47 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ 、 ＧＢ ／ Ｔ１７４３３ 、 ＧＢ ／ Ｔ３７８３７ /G35 ＪＪＦ１１５９ /G25 /G8B /G28 /GBB /GEC /GC3 /GC4 /G3A /GDE /G35 /G8B /G26 /G9C /G9D /G9E /G21 /G75 /GC5 。 ３ ． １ /G48 /G49 /G4A /G4B 　 狊犮犪狀狀犻狀犵狊狅犾狌狋犻狅狀 /GFB /G27 /G28 /G29 /G9B /G2A /G2B /G2C /G28 /G99 /G4D /G5E /G95 /G96 /G97 /GA3 /G9A /G54 /G60 /G98 /G84 /G28 /G2D /G2E 。 ３ ． ２ /G4C /G4D /G4E /G4F /G50 /G51 /G3A 　 犱犻狉犲犮狋犪犮犻犱犱狉狅狆犾犲狋犱犲犮狅犿狆狅狊犻狋犻狅狀 ； 犇犃犇犇 /G9D /G99 /G4D /G2F /G30 /G31 /G28 /G42 /G32 /G2E /G3F /G33 /G5E /G95 /G96 /G97 /G28 /G34 /G38 /G35 ， /GBA /G36 /G37 /G23 /G38 /G96 /G97 ， /G39 /G5E /G95 /G