书 书 书犐犆犛 ７７ ． １５０ ． ０１ 犎 ００ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E 犆犾犪狊狊犻犳犻犮犪狋犻狅狀犪狀犱犱犲犳犻狀犻狋犻狅狀狅犳狋犺犲狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔狉犲犪犱犻狀犲狊狊犾犲狏犲犾狊犳狅狉狋犪狉犵犲狋狊 ２０２０  １１  １９ /G2F /G30 ２０２１  １０  ０１ /G31 /G32 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G2F /G30书 书 书前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 本标准由中国有色金属工业协会提出 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２４３ ） 归口 。 本标准起草单位 ： 有研亿金新材料有限公司 、 有色金属技术经济研究院 、 宁波江丰电子材料股份有限公司 、 贵研铂业股份有限公司 。 本标准主要起草人 ： 高岩 、 韩知为 、 熊晓东 、 腾海涛 、 赵永善 、 贺昕 、 边逸军 、 陈明 、 王传军 、 姚力军 、 闻明 、 徐国进 、 管丽梅 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ 靶材技术成熟度等级划分及定义 １ 　 范围 本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义 、 等级划分和判定规则 。 本标准适用于靶材技术成熟度评价 。 ２ 　 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 。 ２ ． １ 靶材 　 狋犪狉犵犲狋 在溅射沉积技术中的阴极部分 。 该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子 、 原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积 。 ２ ． ２ 技术成熟度 　 狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔狉犲犪犱犻狀犲狊狊 技术满足预期靶材应用目标的程度 。 ２ ． ３ 技术成熟度等级 　 狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔狉犲犪犱犻狀犲狊狊犾犲狏犲犾狊 用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度 。 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．２ 。 ２ ． ４ 技术参数 　 狋犲犮犺狀犻犮犪犾狆犪狉犪犿犲狋犲狉 针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据 。 注 ： 一般是指设计或生产时做出的性能测试报告 。 ２ ． ５ 靶材样品 　 狋犪狉犵犲狋狊犪犿狆犾犲狊 在实验室阶段 ， 根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能 、 结构和检验工艺性能的实物 ， 具备了靶材的部分特性 。 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．３ 。 ２ ． ６ 靶材试制品 　 狋犪狉犵犲狋犱犲狏犲犾狅狆犲犱狆狉狅犱狌犮狋狊 在靶材工程化阶段 ， 考虑最终形式 ， 并在实验室环境或使用环境下 ， 对靶材关键性能和功能进行测试 ， 通过小批量或小规模制备的实物 。 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．４ 。 ２ ． ７ 实验室环境 　 犾犪犫狅狉犪狋狅狉狔犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋狊 实验室的检测和校准设施以及环境条件 ， 用于验证技术原理和使用功能 。 ２ ． ８ 模拟环境 　 狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋狊 模拟真实使用环境 ， 用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能 。 １ 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．６ 。 ２ ． ９ 使用环境 　 狉犲犪犾犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋狊 靶材产品实际使用时的环境和工况 。 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．７ 。 ２ ． １０ 靶材产品 　 狋犪狉犵犲狋狆狉狅犱狌犮狋狊 在产业化阶段 ， 生产工艺成熟 ， 可批量生产 ， 并能实现全部功能 ， 完全满足预期使用目标的实物 。 注 ： 改写 ＧＢ ／ Ｔ３７２６４ — ２０１８ ， 定义 ２．５ 。 ３ 　 靶材技术成熟度等级划分要求 ３ ． １ 　 靶材技术成熟度等级划分 靶材技术成熟度按照三个阶段分为十个等级 ， 即实验室阶段 （ 等级 １ ～ 等级 ４ ）、 工程化阶段 （ 等级 ５ ～ 等级 ７ ）、 产业化阶段 （ 等级 ８ ～ 等级 １０ ）。 各等级的技术成熟度见表 １ 。 表 １ 　 靶材技术成熟度等级界定 等级 技术成熟度 阶段 １ ２ ３ ４ 靶材设计和制备的基本概念 、 原理形成 靶材的应用背景 、 使用环境 、 关键技术参数指标 、 制造工艺和工艺设备等内容得到明确 初步明确了靶材的实验室技术方案 ， 将概念 、 原理实施于靶材制备和工艺控制中 ， 并初步得 到验证 实验室制备工艺贯通 ， 获得靶材样品 ， 部分关键技术参数指标得到实验室环境验证 。 靶材 技术应用的可行性得到验证 ， 提出了工程化转化实施方案 实验室阶段 ５ ６ ７ 靶材试制工艺流程贯通 ， 获得靶材试制品 ， 结构和性能通过实验室测试验证 。 对关键试制 工艺进行了评估 ， 进行了初步的故障模式及影响分析 靶材试制品通过模拟环境验证 ， 明确了关键生产工艺 靶材试制品通过使用环境验证 ， 完成靶材试制工艺流程优化 ， 全面演示了技术的工程可行性 工程化阶段 ８ ９ １０ 靶材产品通过用户测试和认定 ， 生产线完整 ， 形成产品和技术规范 靶材产品经验证满足客户使用要求 ， 能够稳定生产 ， 满足质量一致性要求 靶材产品生产要素得到优化 ， 成批量稳定供货 产业化阶段 ３ ． ２ 　 等级条件 ３ ． ２ ． １ 　 等级 １ 应符合表 ２ 的规定 。 表 ２ 　 等级 １ 条件 序号 条件内容 １ 明确了靶材研发基础的基本概念和基本原理 ２ 依据基本原理提出了靶材的基本组分 、 结构和设计 ， 并预测了基本性能及使用性能 ３ 通过实验 ， 观察到了基本原理 ， 相关技术资料上也已公布了观察结果 ２ 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ ３ ． ２ ． ２ 　 等级 ２ 应符合表 ３ 的规定 。 表 ３ 　 等级 ２ 条件 序号 条件内容 １ 明确了靶材的应用背景和使用环境 ２ 明确了靶材关键技术参数指标 ３ 明确了靶材制造工艺和工艺设备等内容 ， 提出了基本实验室技术方案 ３ ． ２ ． ３ 　 等级 ３ 应符合表 ４ 的规定 。 表 ４ 　 等级 ３ 条件 序号 条件内容 １ 确定了靶材制备的实验室实施方案 ２ 完成了靶材样品制备的准备 、 原材料及相应的实验设备 ３ 完成了靶材制备原理的验证 ４ 明确了靶材结构与性能的测试内容与方法 ３ ． ２ ． ４ 　 等级 ４ 应符合表 ５ 的规定 。 表 ５ 　 等级 ４ 条件 序号 条件内容 １ 实现了实验室工艺贯通 ， 制备出靶材样品 ２ 完成了结构和主要性能的实验室环境测试 ３ 部分测试结果满足关键技术指标要求 ４ 靶材技术应用的可行性得到验证 ５ 实验室工艺条件下保证靶材样品的实现性 、 稳定性和可重复性 ， 提出了工程化转化实施方案 ３ ． ２ ． ５ 　 等级 ５ 应符合表 ６ 的规定 。 表 ６ 　 等级 ５ 条件 序号 条件内容 １ 试制工艺流程贯通 ， 获得了靶材试制品 ２ 靶材试制品的结构和性能通过实验室环境测试验证 ３ 依据靶材工程化实施方案 ， 开展系统集成的初步研究 ， 对关键试制工艺进行了评估 ， 进行了初步的失效模 式及影响分析 ３ ． ２ ． ６ 　 等级 ６ 应符合表 ７ 的规定 。 ３ 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ 表 ７ 　 等级 ６ 条件 序号 条件内容 １ 完成模拟环境用靶材试制品验证件的制备 ２ 试制品验证件通过了模拟环境测试 ， 分析了模拟环境和实验室环境的差异 ３ 制定了完整的试验验证和测试方法 ， 明确了关键生产工艺 ３ ． ２ ． ７ 　 等级 ７ 应符合表 ８ 的规定 。 表 ８ 　 等级 ７ 条件 序号 条件内容 １ 完成了试制品验证件在使用环境中的测试 ， 并通过应用评价 ２ 完成靶材试制工艺流程优化 ， 全面演示了技术的工程可行性 ３ 完成了试制品的工程化制备及性能评价 ， 完成生产的演示验证 ３ ． ２ ． ８ 　 等级 ８ 应符合表 ９ 的规定 。 表 ９ 　 等级 ８ 条件 序号 条件内容 １ 完成靶材产品验证件在使用环境中的全面测试和鉴定 ， 分析了使用环境和模拟环境的差异 ２ 工艺稳定 ， 工艺文件完整 ， 完成产业化生产文件编制 ３ 掌握了产业化制备工艺技术 ４ 生产线通过环境 、 安全 、 职业卫生等相关评审 ５ 完成规模生产装备的建设 ， 生产线完整 ， 具备小批量生产条件 ３ ． ２ ． ９ 　 等级 ９ 应符合表 １０ 的规定 。 表 １０ 　 等级 ９ 条件 序号 条件内容 １ 靶材产品经验证满足客户使用要求 ２ 靶材产品满足质量一致性要求 ， 质量等级达到客户要求 ３ 具备大批量稳定生产的能力 ， 材料有稳定的供货渠道 ４ 制定了靶材产品成本优化方案 ５ 完成了维修性 、 可靠性和保障性等数据的收集 ３ ． ２ ． １０ 　 等级 １０ 应符合表 １１ 的规定 。 ４ 犌犅 ／ 犜 ３９１５７ — ２０２０ 表 １１ 　 等级 １０ 条件 序号 条件内容 １ 靶材产品的性能全部满足使用需求 ２ 靶材制造过程受控且具备稳定生