书 书 书犐犆犛 １３ ． ０３０ ． ２０ 犣 ０５ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ 液晶面板制造稀释废液回收再利用方法 犕犲狋犺狅犱狊犳狅狉犱犻狊狆狅狊犻狀犵狉犲狌狊犲犱狋犺犻狀狀犲狉狑犪狊狋犲犻狀狋犺犲狆狉狅犱狌犮狋犻狅狀狅犳犜犉犜犔犆犇 ２０２０  １１  １９ 发布 ２０２１  １０  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ /G21 ２００９ 给出的规则起草 。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出 。 本标准由全国废弃化学品处置标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２９４ ） 归口 。 本标准起草单位 ： 杭州格林达电子材料股份有限公司 、 深圳市深投环保科技有限公司 、 浙江申联环保集团有限公司 、 石狮市蓝新环保科技有限公司 、 中海油天津化工研究设计院有限公司 、 重庆盛清水处理科技有限公司 、 嘉善绿野环保材料厂 。 本标准主要起草人 ： 尹云舰 、 温炎 遷 、 王治军 、 陈嘉宾 、 弓创周 、 王明冬 、 俞明华 、 陈玉英 、 刘培植 、 安晓英 、 丁灵 、 邢攸美 、 李盈盈 、 王志巍 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ 液晶面板制造稀释废液回收再利用方法 １ 　 范围 本标准规定了液晶面板制造稀释废液的组成 、 回收再利用方法及环境保护要求 。 本标准适用于薄膜晶体管液晶显示器 （ ＴＦＴＬＣＤ ） 面板生产线稀释废液的回收再利用 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 ， 仅注日期的版本适用于本文 件 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 。 ＧＢ８９７８ 　 污水综合排放标准 ＧＢ１６２９７ 　 大气污染物综合排放标准 ３ 　 组成 液晶面板制造稀释废液主要含有有机溶剂以及光阻 、 颗粒 、 金属元素 、 水分等杂质 ， 有机溶剂一般含 有丙二醇甲醚 、 丙二醇甲醚乙酸酯 、 乙酸丁酯等 。 ４ 　 回收再利用方法 ４ ． １ 　 方法提要 利用液晶面板制造稀释废液中各有机物沸点的差异性 ， 采用减压蒸馏 、 真空精馏工艺对稀释废液进 行处理 ， 再经除杂纯化工艺后 ， 按照液晶面板制造不同生产线工艺要求进行复配 ， 得到符合液晶面板制 造条件的稀释液 。 ４ ． ２ 　 工艺流程 ４ ． ２ ． １ 　 工艺流程图 液晶面板制造稀释废液回收再利用工艺流程见图 １ 。 １ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ 图 １ 　 稀释废液回收再利用工艺流程 ４ ． ２ ． ２ 　 预处理 根据液晶面板制造稀释废液的实际特性进行脱水和初级过滤预处理 。 先经过脱水装置除水 （ 可选 用脱水剂或无机渗透汽化膜分离技术 ）， 再经过滤除去废液中机械杂质 ， 得到预处理后溶液 。 ４ ． ２ ． ３ 　 减压蒸馏 经预处理后溶液进入蒸馏釜 ， 控制蒸馏的温度 、 绝对压力 、 回流比等工艺参数 ， 进行减压蒸馏 ， 除去 预处理后残留水分等低沸点杂质 。 ４ ． ２ ． ４ 　 真空精馏 经蒸馏后的溶液进入精馏单元的蒸馏釜 ， 加料至 ４０％ ～ ５０％ 液位时 ， 打开蒸汽调节阀进行缓慢升 温 ， 进入精馏塔 ， 打开回流 ， 全回流 １ｈ ～ ２ｈ 后 ， 开启给料泵 ， 进行连续给料 ， 控制合适的回流比 ， 保持进料与采出平衡 ， 精馏过程严格控制精馏的温度 、 绝对压力 、 回流比等工艺参数 ， 进行真空精馏 ， 最终得到有效馏分 ， 除去光阻等高沸点杂质 。 ４ ． ２ ． ５ 　 树脂交换 精馏后的馏分进入离子树脂塔进行树脂交换除杂 ， 除去金属离子后 ， 再通过过滤装置除去颗粒等 杂质 。 ４ ． ２ ． ６ 　 复配及灌装 根据不同液晶面板制造生产线需求 ， 经树脂交换除杂后 ， 再加入其他原料 ， 在复配反应釜中进行复 配调制 ， 再经过滤除杂 、 灌装 ， 得到液晶面板制造稀释液产品 。 ４ ． ３ 　 主要设备 储罐 、 蒸馏釜 、 精馏塔 、 树脂塔 、 过滤设备 、 复配反应釜 、 灌装设备等 。 ４ ． ４ 　 控制条件 液晶面板制造稀释废液回收再利用工艺参数如下 ： ２ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ ——— 预处理工序 ： 脱水剂加入量不超过稀释废液质量的 １０％ ； ——— 蒸馏工序 ： 蒸馏温度 ４０℃ ～ ６０℃ ， 绝对压力 ０．００５ＭＰａ ～ ０．０２ＭＰａ ， 回流比 （ １ ～ ３ ） ∶１ ； ——— 精馏工序 ： 精馏温度 ６０℃ ～ １２０℃ ， 绝对压力 ０．００５ＭＰａ ～ ０．０２ＭＰａ ， 回流比 （ ２ ～ ５ ） ∶１ ； ——— 树脂交换工序 ： 常温 、 常压 。 ４ ． ５ 　 处理结果 液晶面板制造稀释废液经回收再利用得到的稀释液产品应符合液晶面板生产使用要求 ， 具体性能 要求见表 １ ， 分析方法参见附录 Ａ 。 表 １ 　 性能要求 项目 指标 有效组分 狑 ／ ％ ≥ ９９．５ 色度 ／ Ｈａｚｅｎ ≤ １０ 水分 狑 ／ ％ ≤ ０．０５ 锂 （ Ｌｉ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 钠 （ Ｎａ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 镁 （ Ｍｇ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 铝 （ Ａｌ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 钾 （ Ｋ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 钙 （ Ｃａ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 铬 （ Ｃｒ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 锰 （ Ｍｎ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 铁 （ Ｆｅ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 钴 （ Ｃｏ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 镍 （ Ｎｉ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 铜 （ Ｃｕ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 锌 （ Ｚｎ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 钼 （ Ｍｏ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 银 （ Ａｇ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 镉 （ Ｃｄ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 铅 （ Ｐｂ ）／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ５ 颗粒 （ ≥ ０．５ μ ｍ ）／（ 个 ／ ｍＬ ） ≤ １００ ５ 　 环境保护要求 ５ ． １ 　 废水 在液晶面板制造稀释废液回收再利用的过程中产生的废水 ， 经综合处理后 ， 能循环使用的送至生产 工艺 ， 不能循环使用的废水 ， 经过处理后排放 ， 排放应符合 ＧＢ８９７８ 的要求 。 ３ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ ５ ． ２ 　 废气 在液晶面板制造稀释废液回收再利用的过程中产生的废气 ， 应采用专业的废气处理设施进行处理 ， 排放应符合 ＧＢ１６２９７ 的要求 。 ５ ． ３ 　 废渣 在液晶面板制造稀释废液回收再利用的过程中产生的废渣 ， 按照国家危险废物名录规定属于危险废物 ， 应按危险废物处理 。 ４ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ 附 　 录 　 犃 （ 资料性附录 ） 分析方法 犃 ． １ 　 有效组分含量的测定 犃 ． １ ． １ 　 原理 试样通过微量注射器注入 ， 被载气带入色谱柱 ， 使各组分得到分离 。 用火焰离子化检测器进行检测 。 采用外标法计算丙二醇甲醚 、 丙二醇甲醚乙酸酯 、 乙酸丁酯的含量 ， 各组分之和即为有效组分的含量 。 犃 ． １ ． ２ 　 试剂或材料 犃 ． １ ． ２ ． １ 　 氮气 ： 纯度不小于 ９９．９９％ 。 犃 ． １ ． ２ ． ２ 　 氢气 ： 纯度不小于 ９９．９９％ 。 犃 ． １ ． ２ ． ３ 　 空气 ： 经硅胶或 ５Ａ 分子筛干燥和净化 。 犃 ． １ ． ２ ． ４ 　 标准试剂 ： 标准试剂供配制校准混合物用 ， 包括 ： 丙二醇甲醚 、 丙二醇甲醚乙酸酯 、 乙酸丁酯 ， 根据回收废液组分确定 。 试剂纯度不低于 ９９％ （ 质量分数 ）。 犃 ． １ ． ３ 　 仪器设备 犃 ． １ ． ３ ． １ 　 气相色谱仪 ： 配有火焰离子化检测器 （ ＦＩＤ ）， 灵敏度和稳定性参见 ＧＢ ／ Ｔ９７２２ — ２００６ 中有关规定 。 犃 ． １ ． ３ ． ２ 　 色谱数据处理机或工作站 。 犃 ． １ ． ３ ． ３ 　 微量注射器 ： １ μ Ｌ 或自动进样装置 。 犃 ． １ ． ４ 　 色谱柱及典型操作条件 本标准推荐的色谱柱和色谱操作条件见表 Ａ．１ ， 色谱柱操作条件根据产品特性设置合适的色谱操作条件 ， 进行定性和定量分析 。 其他能达到同等分离程度的色谱柱及色谱操作条件也可使用 。 表 犃 ． １ 　 色谱柱和色谱操作条件 色谱柱 对苯二甲酸改性的聚乙二醇交联柱 ＦＦＡＰ 毛细管柱 柱长 × 柱内径 × 液膜厚度 ６０ｍ×０．３２ｍｍ×０．２５ μ ｍ 柱箱温度 ／ ℃ 初始温度 １００℃ ， 保持 ２ｍｉｎ ， 升温速率 ２０℃ ／ ｍｉｎ ， 到 ２２０℃ 保持 １０ｍｉｎ 气化室温度 ／ ℃ ２８０ 检测器温度 ／ ℃ ３００ 载气 （ 氮气 ） 流量 ／（ ｍＬ ／ ｍｉｎ ） １．６ 分流比 ３９∶１ 进样量 ／ μ Ｌ ０．５ ５ 犌犅 ／ 犜 ３９２９９ — ２０２０ 犃 ． １ ． ５ 　 试验步骤 犃 ． １ ． ５ ． １ 　 调整仪器 根据仪器说明书 ， 调节仪器至表 Ａ．１ 所示的操作条件 ， 待仪器稳定后即可进行测定 。 犃 ． １ ．